Erogba Tetrafluoride (CF4)

Imọ paramita

Erogba tetrafluoride jẹ hydrocarbon halogenated pẹlu agbekalẹ kemikali CF4. O le jẹ bi hydrocarbon halogenated, methane halogenated, perfluorocarbon, tabi bi agbo-ara ti ko ni nkan. Erogba tetrafluoride jẹ gaasi ti ko ni awọ ati ti ko ni olfato, ti ko ṣee ṣe ninu omi, tiotuka ninu benzene ati chloroform. Idurosinsin labẹ iwọn otutu deede ati titẹ, yago fun awọn oxidants ti o lagbara, flammable tabi awọn ohun elo ijona. Gaasi ti kii ṣe ijona, titẹ inu inu ti eiyan yoo pọ si nigbati o ba farahan si ooru giga, ati pe eewu wa ti fifọ ati bugbamu. O jẹ iduroṣinṣin kemikali ati kii ṣe ina. Nikan omi amonia-sodium irin reagent le ṣiṣẹ ni iwọn otutu yara. Erogba tetrafluoride jẹ gaasi ti o fa ipa eefin. O jẹ iduroṣinṣin pupọ, o le duro ninu afẹfẹ fun igba pipẹ, ati pe o jẹ gaasi eefin ti o lagbara pupọ. Erogba tetrafluoride ni a lo ninu ilana etching pilasima ti ọpọlọpọ awọn iyika iṣọpọ. O tun lo bi gaasi lesa, ati pe o lo ninu awọn itutu iwọn otutu kekere, awọn olomi, awọn lubricants, awọn ohun elo idabobo, ati awọn itutu fun awọn aṣawari infurarẹẹdi. O jẹ gaasi etching pilasima ti a lo julọ ni ile-iṣẹ microelectronics. O ti wa ni adalu tetrafluoromethane ga-mimọ gaasi ati tetrafluoromethane ga-mimọ gaasi ati ki o ga-mimọ atẹgun. O le jẹ lilo pupọ ni ohun alumọni, silikoni oloro, silikoni nitride, ati gilasi phosphosilicate. Awọn etching ti tinrin fiimu ohun elo bi tungsten ati tungsten ti wa ni tun gbajumo ni lilo ninu awọn dada ninu ti awọn ẹrọ itanna, oorun cell gbóògì, lesa ọna ẹrọ, kekere-otutu refrigeration, jo ayewo, ati detergent ni tejede Circuit gbóògì. Ti a lo bi itutu otutu kekere ati imọ-ẹrọ etching gbigbẹ pilasima fun awọn iyika iṣọpọ. Awọn iṣọra fun ibi ipamọ: Fipamọ sinu itura kan, ile-itaja gaasi ti kii-ijona. Jeki kuro lati ina ati ooru orisun. Iwọn otutu ipamọ ko yẹ ki o kọja 30 ° C. O yẹ ki o wa ni ipamọ lọtọ lati awọn iṣọrọ (combustible) combustibles ati oxidants, ki o si yago fun adalu ipamọ. Aaye ibi ipamọ yẹ ki o wa ni ipese pẹlu awọn ohun elo itọju pajawiri jijo.

Ohun elo:

① Firiji:

Tetrafluoromethane ni a lo nigba miiran bi itutu otutu kekere.

② Idoju:

O ti wa ni lo ni Electronics microfabrication nikan tabi ni apapo pẹlu atẹgun bi a pilasima echant fun silikoni, silikoni oloro, ati silikoni nitride.

Apo deede:

Anfani:

① Mimo giga, ohun elo tuntun;

② olupese ijẹrisi ISO;

③ Ifijiṣẹ yarayara;

④ Eto itupalẹ lori laini fun iṣakoso didara ni gbogbo igbesẹ;

⑤ Ibeere giga ati ilana ti o ni oye fun mimu silinda ṣaaju kikun;