| Ìlànà ìpele | 99.999% |
| Atẹ́gùn + Árgónì | ≤1ppm |
| Nitrogen | ≤4 ppm |
| Ọrinrin (H2O) | ≤3 ppm |
| HF | ≤0.1 ppm |
| CO | ≤0.1 ppm |
| CO2 | ≤1 ppm |
| SF6 | ≤1 ppm |
| Àwọn Halocarbynes | ≤1 ppm |
| Àwọn Ẹ̀gbin Gbogbogbò | ≤10 ppm |
Erogba tetrafluoride jẹ́ erogba hydrocarbon tí a ti yọ halogenated pẹ̀lú agbekalẹ kemikali CF4. A le kà á sí erogba hydrocarbon tí a ti yọ halogenated, methane tí a ti yọ halogenated, perfluorocarbon, tàbí gẹ́gẹ́ bí èròjà tí kò ní èròjà organic. Erogba tetrafluoride jẹ́ gaasi tí kò ní àwọ̀ àti òórùn, tí kò lè yọ́ nínú omi, tí ó lè yọ́ nínú benzene àti chloroform. Ó dúró ṣinṣin lábẹ́ ìwọ̀n otútù àti ìfúnpá déédé, ó yẹra fún àwọn ohun èlò oxidants tí ó lágbára, àwọn ohun èlò tí ó lè yọ́ tàbí tí ó lè jóná. Eérú gaasi tí kò lè jóná, ìfúnpá inú àpótí náà yóò pọ̀ sí i nígbà tí a bá fara hàn sí ooru gíga, ó sì lè fa ìfọ́ àti ìbúgbàù. Ó dúró ṣinṣin gẹ́gẹ́ bí kemikali àti pé kò lè jóná. Reagent irin ammonia-sodium olómi nìkan ni ó lè ṣiṣẹ́ ní ìwọ̀n otútù yàrá. Erogba tetrafluoride jẹ́ gaasi tí ó ń fa ipa eefin. Ó dúró ṣinṣin gan-an, ó lè dúró nínú afẹ́fẹ́ fún ìgbà pípẹ́, ó sì jẹ́ gaasi eefin tí ó lágbára gan-an. Erogba tetrafluoride ni a ń lò nínú ilana ìfọ́ plasma ti onírúurú iyika tí a ti ṣepọ. A tun lo o bi gaasi lesa, a si nlo o ninu awọn firiji kekere, awọn nkan olomi, awọn epo-ipara, awọn ohun elo idabobo, ati awọn ohun elo itutu fun awọn ẹrọ wiwa infrared. O jẹ gaasi fifa plasma ti a lo julọ ni ile-iṣẹ microelectronics. O jẹ adalu gaasi giga-purity tetrafluoromethane ati gaasi giga-purity tetrafluoromethane ati atẹgun giga-purity. A le lo o ni ọpọlọpọ ni silicon, silicon dioxide, silicon nitride, ati gilasi phosphosilicate. A tun lo fifẹ awọn ohun elo fiimu tinrin bi tungsten ati tungsten ni ibi mimọ dada ti awọn ẹrọ itanna, iṣelọpọ sẹẹli oorun, imọ-ẹrọ lesa, firiji kekere-otutu, ayewo jijo, ati ọṣẹ ninu iṣelọpọ Circuit ti a tẹjade. A lo o bi imọ-ẹrọ fifọ gbigbẹ ti iwọn otutu kekere ati plasma fun awọn iyika ti a ti sopọ. Awọn iṣọra fun ibi ipamọ: Tọju ni ile ipamọ gaasi tutu, ti ategun ti ko ni ina. Pa mọ kuro ninu ina ati awọn orisun ooru. Iwọn otutu ibi ipamọ ko yẹ ki o kọja 30°C. Ó yẹ kí a tọ́jú rẹ̀ lọtọ̀ sí àwọn ohun tí ó lè jóná (tí ó lè jóná) àti àwọn ohun èlò oxidant, kí a sì yẹra fún ìtọ́jú àdàpọ̀. Agbègbè ìtọ́jú pajawiri tí ó ń jó omi gbọ́dọ̀ ní àwọn ohun èlò ìtọ́jú pajawiri tí ó ń jó.
① Ohun èlò ìfàyà:
A maa n lo Tetrafluoromethane nigba miiran bi ohun elo tutu otutu kekere.
② Ìfọ́mọ́:
A nlo o ninu ise ina elekitironiki nikan tabi ni apapo pelu oxygen gege bi ohun elo ti o n se atunse plasma fun silikoni, silikoni dioxide, ati silikoni nitride.
| Ọjà | Erogba TetrafluorideCF4 | ||
| Iwọn Apoti | Silinda 40Lita | Silinda 50Lita | |
| Kíkún Ìwúwo Nẹ́ẹ̀tì/Sínílà | 30Kgs | 38Kgs | |
| Iye ti a gbe sinu Apoti 20' | Silsi 250 | Silsi 250 | |
| Àpapọ̀ Ìwúwo Nẹ́ẹ̀tì | 7.5 tọ́ọ̀nù | 9.5 tọ́ọ̀nù | |
| Ìwúwo Sílíńdà Tare | 50Kgs | 55Kgs | |
| Ààbò | CGA 580 | ||
①Iwa mimọ giga, ohun elo tuntun;
② Olùpèsè ìwé-ẹ̀rí ISO;
③Ifijiṣẹ yarayara;
④Ètò ìṣàyẹ̀wò lórí ayélujára fún ìṣàkóso dídára ní gbogbo ìgbésẹ̀;
⑤Ibeere giga ati ilana ti o muna fun mimu silinda ṣaaju kikun;