Awọn gaasi mimọ-giga giga (UHP) jẹ ẹjẹ igbesi aye ti ile-iṣẹ semikondokito. Gẹgẹbi ibeere airotẹlẹ ati awọn idalọwọduro si awọn ẹwọn ipese agbaye titari idiyele ti gaasi titẹ giga-giga, apẹrẹ semikondokito tuntun ati awọn iṣe iṣelọpọ n pọ si ipele ti iṣakoso idoti ti nilo. Fun awọn aṣelọpọ semikondokito, ni anfani lati rii daju mimọ ti gaasi UHP jẹ pataki ju lailai.

Awọn gaasi ti o ga julọ ti o ga julọ (UHP) Ṣe pataki ni iṣelọpọ ni iṣelọpọ Semikondokito ode oni

Ọkan ninu awọn ohun elo akọkọ ti gaasi UHP jẹ inertization: A lo gaasi UHP lati pese aaye aabo ni ayika awọn paati semikondokito, nitorinaa aabo wọn lati awọn ipa ipalara ti ọrinrin, atẹgun ati awọn contaminants miiran ninu oju-aye. Sibẹsibẹ, inertization jẹ ọkan ninu ọpọlọpọ awọn iṣẹ oriṣiriṣi ti awọn gaasi ṣe ni ile-iṣẹ semikondokito. Lati awọn gaasi pilasima akọkọ si awọn gaasi ifaseyin ti a lo ninu etching ati annealing, awọn gaasi titẹ giga-giga ni a lo fun ọpọlọpọ awọn idi oriṣiriṣi ati pe o ṣe pataki jakejado pq ipese semikondokito.

Diẹ ninu awọn gaasi “mojuto” ni ile-iṣẹ semikondokito pẹlunitrogen(ti a lo bi mimọ gbogbogbo ati gaasi inert),argon(ti a lo bi gaasi pilasima akọkọ ni etching ati awọn aati ifisilẹ),ategun iliomu(lo bi ohun inert gaasi pẹlu pataki ooru-gbigbe-ini) atihydrogen(ṣe awọn ipa pupọ ni fifin, ifisilẹ, epitaxy ati mimọ pilasima).

Bii imọ-ẹrọ semikondokito ti wa ati yipada, bẹẹ ni awọn gaasi ti a lo ninu ilana iṣelọpọ. Loni, awọn ohun elo iṣelọpọ semikondokito lo ọpọlọpọ awọn gaasi, lati awọn gaasi ọlọla biikryptonatineonsi awọn eya ifaseyin gẹgẹbi nitrogen trifluoride (NF 3) ati tungsten hexafluoride (WF 6).

Dagba eletan fun ti nw

Lati ipilẹṣẹ ti microchip iṣowo akọkọ, agbaye ti jẹri iyalẹnu iyalẹnu isunmọ-itumọ ilosoke ninu iṣẹ awọn ẹrọ semikondokito. Ni ọdun marun sẹhin, ọkan ninu awọn ọna ti o daju julọ lati ṣaṣeyọri iru ilọsiwaju iṣẹ yii ti jẹ nipasẹ “iwọn iwọn”: idinku awọn iwọn bọtini ti awọn faaji chirún ti o wa tẹlẹ lati le fa awọn transistors diẹ sii sinu aaye ti a fun. Ni afikun si eyi, idagbasoke ti awọn ile-iṣẹ chirún tuntun ati lilo awọn ohun elo gige-eti ti ṣe agbejade awọn fifo ni iṣẹ ẹrọ.

Loni, awọn iwọn to ṣe pataki ti awọn semikondokito gige-eti jẹ bayi kere pupọ pe igbelowọn iwọn kii ṣe ọna ti o le yanju lati mu ilọsiwaju ẹrọ ṣiṣẹ. Dipo, awọn oniwadi semikondokito n wa awọn ojutu ni irisi awọn ohun elo aramada ati awọn faaji chirún 3D.

Awọn ọdun mẹwa ti atunkọ ailagbara tumọ si awọn ẹrọ semikondokito ode oni ni agbara pupọ ju awọn microchips ti atijọ - ṣugbọn wọn tun jẹ ẹlẹgẹ diẹ sii. Wiwa ti imọ-ẹrọ iṣelọpọ wafer 300mm ti pọ si ipele ti iṣakoso aimọ ti o nilo fun iṣelọpọ semikondokito. Paapaa ibajẹ kekere diẹ ninu ilana iṣelọpọ (paapaa toje tabi awọn gaasi inert) le ja si ikuna ohun elo ajalu - nitorina mimọ gaasi jẹ pataki ju igbagbogbo lọ.

Fun ọgbin iṣelọpọ semikondokito aṣoju kan, gaasi-mimọ giga-giga jẹ tẹlẹ inawo ohun elo ti o tobi julọ lẹhin ohun alumọni funrararẹ. Awọn idiyele wọnyi ni a nireti lati pọ si bi ibeere fun awọn semikondokito n lọ si awọn giga tuntun. Awọn iṣẹlẹ ni Yuroopu ti fa idalọwọduro afikun si ọja gaasi adayeba ti o lagbara pupọ. Ukraine jẹ ọkan ninu awọn agbaye tobi atajasita ti ga-mimọneonawọn ami; Ikolu Russia tumọ si awọn ipese ti gaasi toje ti wa ni ihamọ. Eyi yori si awọn aito ati awọn idiyele giga ti awọn gaasi ọlọla miiran biikryptonatixenon.