Ultra-giga mimọ (UHP) awọn gaasi ni igbesi aye ile-iṣẹ ti Semicotanctor. Gẹgẹbi ibeere ti ko ni alaye tẹlẹ ati awọn idiwọ si awọn ẹwọn ipese agbaye Titari gaasi-giga gaasi, apẹẹrẹ ara ẹni giga ati awọn iṣelọpọ iṣelọpọ n pọ si ipele iṣakoso idoti ti nilo. Fun awọn olupese Semiciotuctor, ni anfani lati rii daju mimọ ti gaasi UHP jẹ pataki ju lailai.

Ultra giga mimọ (UHP) awọn ategun wa ni pataki pataki ni iṣelọpọ ti arabara igbalode

Ọkan ninu awọn ohun elo akọkọ ti gaasi UHP jẹ intertization: Gaati ti UHP lati pese bugbamu ti o wa ni aabo awọn ohun elo semicioctucchtorch, nitorinaa awọn ajẹsara miiran ni oju-aye. Sibẹsibẹ, imọ-jinlẹ jẹ ọkan ninu ọpọlọpọ awọn iṣẹ oriṣiriṣi ti awọn afonifoji ṣe ni ile-iṣẹ isomimibontichoctor. Lati awọn ategun pilasima akọkọ si awọn ategun atunse ti a lo ni etching ati ni išeale, Ultra-giga Awọn iwọn-giga titẹ ti o ga ati pe o jẹ konki ti Semimbotuctor.

Diẹ ninu awọn "mojuto" awọn ategun "ni ile-iṣẹ isomimole pẹlunitrogen(ti a lo bi imulẹ gbogbogbo ati gaasi Inter),jiyan(Ti a lo bi gaasi pilasima akọkọ ninu etching ati awọn aati gbigbe),Helium(Ti a lo bi gaasi iner pẹlu awọn ohun-ini gbigbe ooru pataki) atihydrogen(Mu awọn ipa opoto lọpọlọpọ ni ile-itara, Iwosan, Epitaxy ati orisun Pilasima).

Gẹgẹbi imọ-ẹrọ semimitoctictictor ti wa lati wa, ti yipada, nitorinaa o ni awọn ategun ti a lo ninu ilana iṣelọpọ. Loni, awọn irugbin iṣelọpọ semitocticuthor lo awọn ohun ategun nla kan, lati awọn ategun ọlọla biikryptonatiagogoSi awọn ipanilara ohun bii nitrogen Terrogen Tffuluoride (NF 3) ati Tungsten Hexafluor (WF 6).

Ndagba ibeere fun mimọ

Niwọn igba ti kiikan ti microchip ti iṣowo akọkọ, agbaye ti jẹri iyalẹnu ohun iyanu ti o sunmọ julọ ni iṣẹ ti awọn ẹrọ somimidoctor. Ninu ọdun marun to kọja, ọkan ninu awọn ọna iṣọn-iṣẹ lati ṣe aṣeyọri iru ilọsiwaju yii ti jẹ nipasẹ "Iwọn bọtini": idinku awọn olutọpa diẹ sii sinu aaye ti a fun. Ni afikun si eyi, idagbasoke ti awọn ile-iṣere tuntun ati lilo awọn ohun elo gige-adika ti ṣafihan awọn ifunmọ ẹrọ.

Loni, awọn iwọn to ṣe pataki ti awọn isunmọ gige-eti ni o bayi kekere yẹn jẹ iwọn jiwọn ko si mọ lati ṣe ilọsiwaju iṣẹ ṣiṣe. Dipo, awọn oluwani semicioctuctuctor n wa awọn solusan ni irisi awọn ohun elo aramada ati awọn ile-iṣere mẹta.

Awọn ewadun ti Isanwo alailowaya tumọ si awọn ẹrọ semicioctor loni ti o lagbara pupọ ju awọn microchips ti atijọ lọ - ṣugbọn wọn tun jẹ ẹlẹgẹ diẹ sii. Idin ti imọ-ẹrọ ti 300mm warfmm warcation ti 300MY wa ti imọ-ẹrọ ti iṣakoso iṣakoso ti o nilo fun iṣelọpọ semicaltuclocctor. Paapaa kontaminesonu kekere ninu ilana iṣelọpọ (paapaa awọn ategun ti o ṣọwọn) le ja si ikuna catastoppic - nitorinaa mimọ gaasi jẹ pataki ju lailai lọ.

Fun aṣoju ọjà ti o jọmọ ohun ọwọn, gaasi giga-giga-giga jẹ tẹlẹ inawo inawo ti o tobi lẹhin siliki funrararẹ. Awọn idiyele wọnyi ni a nireti lati pọ si bi eletan fun awọn ọṣẹ ṣiṣù si awọn ibi giga tuntun. Awọn iṣẹlẹ ni Yuroopu ti fa idalọwọduro siwaju si ọja gaasi alaidarara. Ukraine jẹ ọkan ninu awọn okeere ti o tobi julọ ti agbaye ti o ga julọagogoawọn ami; Olugbegun Russia tumọ si awọn ipese ti gaasi toje ti wa ni idiwọ. Eyi ni yipada si idaamu ati awọn idiyele ti o ga julọ ti awọn ategun ọlọla miiran biikryptonatixenon.