boron trichloride (BCl3)jẹ agbo-ara ti ko ni nkan ti o wọpọ ti a lo ninu etching gbigbẹ ati awọn ilana isọkusọ kẹmika (CVD) ni iṣelọpọ semikondokito. O jẹ gaasi ti ko ni awọ pẹlu õrùn gbigbona to lagbara ni iwọn otutu yara ati pe o ni itara si afẹfẹ ọririn nitori pe o ṣe hydrolyzes lati ṣe agbejade hydrochloric acid ati boric acid.

Awọn ohun elo ti boron Trichloride

Ninu ile-iṣẹ semikondokito,boron trichlorideti wa ni o kun lo fun gbẹ etching ti aluminiomu ati bi a dopant lati dagba P-Iru awọn ẹkun ni lori ohun alumọni wafers. O tun le ṣee lo lati etch awọn ohun elo bii GaAs, Si, AlN, ati bi orisun boron ni awọn ohun elo kan pato. Ni afikun, boron trichloride jẹ lilo pupọ ni iṣelọpọ irin, ile-iṣẹ gilasi, itupalẹ kemikali ati iwadii yàrá.

Aabo ti boron Trichloride

boron trichloridejẹ ibajẹ ati majele ti o le fa ibajẹ nla si oju ati awọ ara. O ṣe hydrolyzes ni afẹfẹ ọririn lati tu silẹ gaasi hydrogen kiloraidi majele. Nitorinaa, awọn igbese aabo ti o yẹ nilo lati mu nigba mimuboron trichloride, pẹlu wiwọ aṣọ aabo, awọn goggles ati awọn ohun elo aabo atẹgun, ati ṣiṣe ni agbegbe ti o ni afẹfẹ daradara.