Ìdàgbàsókè (ìdàgbàsókè)Adalu Gas

Nínú ilé iṣẹ́ semiconductor, gáàsì tí a lò láti gbin ọ̀kan tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ àwọn ohun èlò nípa ìdènà èéfín kẹ́míkà lórí ohun èlò tí a yàn dáradára ni a ń pè ní gaasi epitaxial.

Àwọn gáàsì epitaxial silicon tí a sábà máa ń lò ni dichlorosilane, silicon tetrachloride àtisilane. A maa n lo o fun ifipamọ silikoni epitaxial, ifipamọ silikoni oxide, ifipamọ silikoni nitride, ifipamọ silikoni amorphous fun awọn sẹẹli oorun ati awọn olufunni fọto miiran, ati bẹẹbẹ lọ. Epitaxy jẹ ilana kan ninu eyiti a fi ohun elo kristali kan soso ti a si gbin si ori ilẹ ti a fi so.

Ìtújáde Afẹ́fẹ́ Kẹ́míkà (CVD) Gáàsì Àdàpọ̀

CVD jẹ́ ọ̀nà láti fi àwọn èròjà àti àwọn èròjà kan sílẹ̀ nípasẹ̀ àwọn ìṣesí kẹ́míkà ìpele gaasi nípa lílo àwọn èròjà oníyípadà, ìyẹn ni, ọ̀nà ṣíṣe fíìmù nípa lílo àwọn ìṣesí kẹ́míkà ìpele gaasi. Gẹ́gẹ́ bí irú fíìmù tí a ṣe, gaasi ìdènà èéfín kẹ́míkà (CVD) tí a lò náà yàtọ̀ síra.

DókítàÀdàlú Gáàsì

Nínú ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ semikondokito àti àwọn iyika tí a ti so pọ̀, àwọn ohun àìmọ́ kan ni a fi sínú àwọn ohun èlò semikondokito láti fún àwọn ohun èlò náà ní irú conductivity tí a nílò àti resistance kan láti ṣe àwọn resistors, àwọn ìjápọ̀ PN, àwọn ìpele tí a bò mọ́lẹ̀, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Gáàsì tí a lò nínú ilana doping ni a ń pè ní doping gaasi.

Pàápàá jùlọ ni arsine, phosphine, phosphorus trifluoride, phosphorus pentafluoride, arsenic trifluoride, arsenic pentafluoride,boron trifluoride, diborane, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

Lọ́pọ̀ ìgbà, orísun oògùn náà ni a máa ń dapọ̀ mọ́ gáàsì onígbèsè (bíi argon àti nitrogen) nínú àpótí orísun kan. Lẹ́yìn tí a bá ti dapọ̀, a máa ń fi gáàsì náà sínú iná ìléru tí ó ń tàn kálẹ̀ nígbà gbogbo, a sì máa ń yí wafer náà ká, a sì máa ń kó àwọn dopants sí ojú wafer náà, lẹ́yìn náà a máa ń ṣe pẹ̀lú silikoni láti mú àwọn irin tí a ti fi dopted ṣe jáde tí wọ́n sì ń yípadà sí silikoni.

Ìfọ́Àdàpọ̀ Gáàsì

Ìfọ́nrán ni láti gé ojú ìṣiṣẹ́ (bíi fíìmù irin, fíìmù silicon oxide, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) kúrò lórí ilẹ̀ láìsí ìbòjú photoresist, nígbàtí a bá ń pa agbègbè náà mọ́ pẹ̀lú ìbòjú photoresist, kí a lè rí àwòrán tí a nílò lórí ilẹ̀ náà.

Àwọn ọ̀nà ìfọṣọ ní nínú ìfọṣọ kẹ́míkà tó rọ̀ àti ìfọṣọ kẹ́míkà tó rọ̀. Gáàsì tí a lò nínú ìfọṣọ kẹ́míkà tó rọ̀ ni a ń pè ní gáàsì ìfọṣọ.

Gáàsì ìfọ́mọ́ra sábà máa ń jẹ́ gáàsì fluoride (halide), bíierogba tetrafluoride, nitrogen trifluoride, trifluoromethane, hexafluoroethane, perfluoropropane, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.