Epiditi (idagbasoke)Adalu gas

Ni ile-iṣẹ Semicoctionctor, gaasi ti lo lati dagba ọkan tabi awọn fẹlẹfẹlẹ ti ohun elo lori ifunfun oru ti o farabalẹ ni a pe ni epo gaasi farasin.

Awọn ategun Silicon ti a lo wọpọ pẹlu dichlorosiaane, silcon tetrachloride atisilini. Ni akọkọ ti a lo fun idogo alumọni silicon, ohun idogo siliconchchch Fiimu ti o le ṣe ifunni ati dagba lori dada sobusitirate.

Ẹbun Chapor Kẹmika (CVD) gaasi ti o dapọ

CVD jẹ ọna ti idogo kan ati awọn iṣupọ nipasẹ awọn aati kemikali alakoso awọn agbejade gaasi, ie, ọna itanna fiimu nipa lilo awọn aati kemikali gaasi. O da lori iru fiimu ti a ṣẹda, Ibẹsiwaju VVD (CVD) Gaasi ti a lo tun yatọ.

FifẹGaasi dapọ

Ninu iṣelọpọ awọn ẹrọ semicioctorctor ati awọn ipin-ara ti a fi sii, awọn impurities kan wa ni iru awọn aworan afọwọkọ, awọn fẹlẹfẹlẹ kan ti a lo ninu ilana isọsi.

O kun pẹlu arsine, phosphphins Trifphoris Trifuluoride, irawọ owurọ Pentdide, Arsenic Trifluoride,Boron Trefluide, Dibohane, bbl

Nigbagbogbo, orisun iṣelọpọ pọ pẹlu gaasi ti ngbe (bii argon ati nitrogen) ni minisita orisun kan. Lẹhin adalu, ṣiṣan gaasi jẹ loorekoore sinu ina ileru ati ki o yika awọn dofun lori siliki lati ṣe agbekalẹ awọn irin ti ko ni aami.

EttringRiipo adalu

Etching ni lati etch bopquate kuro (bii fiimu fiimu, lalicroon Ibẹri, lakoko ti o pamọ ni masking, nitorinaa lati gba apẹrẹ aworan ti o nilo lori awọn sobusitireti.

Awọn ọna ettirin pẹlu ettisi kemikali tutu ati etchin kemikali gbigbẹ. Gaasi ti a lo ninu emu kemikali gbigbẹ ni a npe ni gaasi etching.

Gaasi gaasi jẹ igbagbogbo fluoride gaasi (Nlagira), gẹgẹbierogba Torbor, Nitrogen Terfluide, Trifluomethane, Hexafluoran, influropropropophopae, bbl