Hydrogen kiloraidijẹ gaasi ti ko ni awọ pẹlu olfato pungent. Ojutu olomi rẹ ni a pe ni hydrochloric acid, ti a tun mọ ni hydrochloric acid. Hydrogen kiloraidi jẹ tiotuka pupọ ninu omi. Ni 0 ° C, iwọn didun omi 1 le tu nipa awọn iwọn 500 ti hydrogen kiloraidi.

O ni awọn ohun-ini ati awọn abuda wọnyi:

1. Ga ti nw

Awọn ti nw ti itanna itehydrogen kiloraidiga pupọ, nigbagbogbo ni ppm tabi ipele kekere, lati rii daju pe ko si awọn aimọ ti a ṣe sinu ilana iṣelọpọ semikondokito.

2. Inertness

O jẹ gaasi inert kemika ti ko ṣe pẹlu ọpọlọpọ awọn nkan miiran, eyiti o ṣe pataki pupọ lati ṣe idiwọ ibajẹ ti awọn ohun elo semikondokito ati ohun elo.

3. Iduroṣinṣin giga

Itanna itehydrogen kiloraidigbogbogbo ni kemistri iduroṣinṣin lati rii daju sisẹ semikondokito igbẹkẹle.

Ni iṣelọpọ semikondokito, awọn ohun elo akọkọ ti itanna hydrogen kiloraidi pẹlu:

1. Dada ninu ati igbaradi

Bi ohun daradara dada regede, itanna itehydrogen kiloraiditi wa ni lo lati yọ oxides ati impurities lati awọn sobusitireti dada lati rii daju awọn didara ati mimo ti epitaxial Layer tabi fiimu.

2.Epitaxial idagbasoke iranlowo

Ti a lo bi oluranlowo itọju oju-aye ni ilana ilana epitaxial, o ṣe iranlọwọ lati mu didara ti Layer epitaxial dara si, mu ilọsiwaju lattice ṣiṣẹ, ati ki o dinku dida awọn abawọn lattice.

3. Sobusitireti pretreatment

Ṣaaju igbaradi ti awọn ẹrọ semikondokito, ite itannahydrogen kiloraidile ṣee lo lati ṣe itọju dada sobusitireti lati ṣe ipilẹ iduroṣinṣin lati mu ilọsiwaju pọ si laarin Layer epitaxial ati sobusitireti.

4. Deposition oluranlowo oluranlowo

Ninu ilana ti ifasilẹ eefin ti kemikali (CVD) tabi ifisilẹ eefin ti ara (PVD), iwọn itanna hydrogen kiloraidi le ṣee lo bi alabọde gbigbe ipele gaasi lati kopa ninu ifasilẹ ifisilẹ ti awọn ohun elo semikondokito.

5. Gaasi-alakoso gbigbe oluranlowo

Gẹgẹbi aṣoju gbigbe gaasi-fase, awọn iṣaju gaseous miiran ni a ṣe sinu iyẹwu ifura lati ṣe iranlọwọ lati ṣatunṣe iwọn ifisilẹ ati isokan ti ohun elo naa.

Awọn abuda wọnyi ṣe itanna itehydrogen kiloraidioluranlowo processing pataki ni imọ-ẹrọ semikondokito, eyiti o ni ipa bọtini lori iṣẹ ati igbẹkẹle ti ẹrọ ikẹhin.

Ni afikun si lilo rẹ ni iṣelọpọ semikondokito, itanna hydrogen kiloraidi le wa ọpọlọpọ awọn lilo ni awọn agbegbe miiran, pẹlu: Igbaradi ti awọn ohun elo mimọ giga, Awọn sẹẹli epo, idagbasoke ohun elo Semiconductor, Lithography Alakoso Vapor, Ayẹwo Ohun elo, Iwadi Kemikali.

Ni gbogbogbo, itanna itehydrogen kiloraidijẹ wapọ, gaasi mimọ giga ti o ni ọpọlọpọ awọn ohun elo ti ita ti iṣelọpọ semikondokito.