Haidrojiin kiloraidijẹ́ gáàsì aláìláwọ̀ pẹ̀lú òórùn dídùn. Omi rẹ̀ ni a ń pè ní hydrochloric acid, tí a tún mọ̀ sí hydrochloric acid. Hydrogen chloride jẹ́ omi tútù gan-an nínú omi. Ní 0°C, omi kan lè yọ́ nǹkan bí ìwọ̀n 500 ti hydrogen chloride.

O ni awọn ini ati awọn abuda wọnyi:

1. Ìmọ́tótó gíga

Ìwà mímọ́ ti ìpele itannahaidrojiin kiloraidiga gidigidi, nigbagbogbo ni ipele ppm tabi isalẹ, lati rii daju pe ko si awọn abawọn ti a fi sinu ilana iṣelọpọ semiconductor.

2. Àìlera

Ó jẹ́ gáàsì aláìṣiṣẹ́ tí ó ní kẹ́míkà tí kò ní í ṣe pẹ̀lú ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn nǹkan mìíràn, èyí tí ó ṣe pàtàkì gidigidi láti dènà ìbàjẹ́ àwọn ohun èlò àti ẹ̀rọ semiconductor.

3. Iduroṣinṣin giga

Ipele itannahaidrojiin kiloraidini gbogbogbo ni kemistri iduroṣinṣin lati rii daju pe ilana semikondokito ti o gbẹkẹle.

Nínú iṣẹ́ ìṣiṣẹ́ semikondokito, àwọn ohun èlò pàtàkì ti hydrogen chloride onípele itanna ni:

1. Fífọ ilẹ̀ àti ìpèsè rẹ̀

Gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìfọmọ́ ojú ilẹ̀ tó munadoko, ìpele itannahaidrojiin kiloraidiA lo lati mu awon oksidi ati awon idoti kuro ninu oju ilẹ lati rii daju pe o dara ati mimọ ti fẹlẹfẹlẹ tabi fiimu epitaxial.

2. Ìrànlọ́wọ́ ìdàgbàsókè epitaxial

A lo o bi ohun elo itọju oju ilẹ ninu ilana epitaxial, o ṣe iranlọwọ lati mu didara fẹlẹfẹlẹ epitaxial dara si, mu ibamu lattice dara si, ati dinku dida awọn abawọn lattice.

3. Ṣíṣe ìtọ́jú ṣáájú ìsàlẹ̀

Ṣaaju igbaradi ti awọn ẹrọ semikondokito, ipele itannahaidrojiin kiloraidia le lo lati tọju oju ilẹ substrate lati ṣẹda ipilẹ iduroṣinṣin lati mu ifọmọ laarin fẹlẹfẹlẹ epitaxial ati substrate naa dara si.

4. Aṣojú olùrànlọ́wọ́ ìfipamọ́

Nínú ìlànà ìfipamọ́ ooru kẹ́míkà (CVD) tàbí ìfipamọ́ ooru ara (PVD), a lè lo hydrogen chloride onípele ẹ̀rọ itanna gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìfipamọ́ gáàsì láti kópa nínú ìṣe ìfipamọ́ àwọn ohun èlò semikondokito.

5. Aṣojú gbigbe gaasi-ipele

Gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìyípadà gáàsì, àwọn ohun èlò ìṣàfihàn gáàsì mìíràn ni a fi sínú yàrá ìṣesí láti ran lọ́wọ́ láti ṣàtúnṣe ìwọ̀n ìfipamọ́ àti ìbáramu ohun èlò náà.

Awọn abuda wọnyi jẹ ki ẹrọ itanna naa wa ni ipelehaidrojiin kiloraidiohun elo iṣiṣẹ pataki ninu imọ-ẹrọ semiconductor, eyiti o ni ipa pataki lori iṣẹ ati igbẹkẹle ti ẹrọ ikẹhin.

Ní àfikún sí lílò rẹ̀ nínú ìṣiṣẹ́ semiconductor, hydrogen chloride onípele ẹ̀rọ itanna le rí onírúurú lílò ní àwọn agbègbè mìíràn, títí bí: Ìmúra àwọn ohun èlò mímọ́ gíga, Àwọn Sẹ́ẹ̀lì Epo, Ìdàgbàsókè ohun èlò Semiconductor, Lithography Ìpele Vapor, Ìṣàyẹ̀wò Ohun èlò, Ìwádìí Kẹ́míkà.

Ni gbogbogbo, ipele itannahaidrojiin kiloraidijẹ́ gaasi tó wọ́pọ̀, tó mọ́ tónítóní tó sì ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò tó wà níta iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor.