Ninu ilana iṣelọpọ ti awọn ipilẹ sambocionctor wa bimiconductor awọn ilana iṣelọpọ to ni ilọsiwaju, o fẹrẹ 50 awọn oriṣi awọn ategun ti nilo. Awọn ategun ti pin gbogbo awọn gaasi olopobo atiAwọn ategun pataki.

Ohun elo ti awọn ategun ni microelectronics ati awọn ile -silẹ semistictoctor awọn eefin ti nigbagbogbo ṣe ipa pataki ninu awọn ilana semimidoctor, paapaa awọn ilana Semigedoctor awọn ọja. Lati Ulsi, Tft-LCD si Micro-Valctromelancal ti isiyi (Meji) Awọn ilana, ifosijera gbigbẹ, ifunni Ikini, ati bẹbẹ lọ

Fun apẹẹrẹ, ọpọlọpọ eniyan mọ pe awọn eerun ni a ṣe iyanrin, ṣugbọn wiwo gbogbo ilana ti cursọ, gẹgẹ bi onijagidijagan diẹ, ohun elo ti a fojusi, eso pataki, bbl jẹ indispensable. Apoti Ipele Tun tun nilo awọn sobusitireti, awọn ero, awọn fireemu ti o ni itọsọna, awọn ohun elo ifimu, bbl ti awọn ohun elo oriṣiriṣi. Awọn ategun pataki ti itanna jẹ ohun elo keji ti o tobi julọ ni awọn idiyele ẹrọ iṣelọpọ semiconctorc lẹhin awọn ohun elo ojiji siliki, atẹle nipa awọn iboju iparada ati awọn fọto fọto.

Awọn mimọ gaasi ni ipa ipinnu lori iṣẹ paati ati ise agbero, ati aabo ipese gaasi ni ibatan si ilera ti oṣiṣẹ ati aabo ti iṣẹ iṣelọpọ. Kini idi ti mimọ gaasi ni iru ipa nla lori laini ilana ati oṣiṣẹ? Eyi kii ṣe akiyesi, ṣugbọn pinnu nipasẹ awọn abuda to lewu ti gaasi funrararẹ.

Ipele ti awọn ategun ti o wọpọ ni ile-iṣẹ isomimosi

Gaasi lasan

Gaasi ti lasan ni a tun npẹẹrẹ gaasi olodibo: o tọka si gaasi ti ile-iṣẹ pẹlu ibeere mimọ ti o kere ju 5n ati iṣelọpọ nla ati iwọn didun nla. O le pin si gaasi ipinlẹ afẹfẹ ati gaasi sintetiki ni ibamu si awọn ọna igbaradi oriṣiriṣi. Hydrogen (H2), nitrogen (n2), Oxygen (O2), Argon (A2), ati bẹbẹ lọ;

Gaasi pataki

Abale pataki kan tọka si gaasi ile-iṣẹ ti a lo ni awọn aaye kan pato ati pe o ni awọn ibeere pataki fun mimọ, oriṣiriṣi, ati awọn ohun-ini, ati awọn ohun-ini. PatakiSih4, Ph3, B2H6, A8H3,Han, CF4,Np3, Pocl3, SiH2Cl2, Sihin3,Np3, Bl3, Sif4, CLF3, Co, C2F6, N2F6, N2O, F2, HBL, HBR,Sf6… ati bẹbẹ lọ.

Awọn oriṣi awọn ategun arun

Awọn oriṣi awọn ategun pataki: corrisive, majele, ipadi, idapọmọra-atilẹyin, inter, bbl
Awọn gaasi Sumpondoctor Seates ti a lo wọpọ ti wa ni ipin bi atẹle:
(i) candive / majele:Han, BF3, WF3, HB3, SiH2Cl2, NH3, PH3, CL2,Bl3...
(ii) Flammable: H2,Ch4,Sih4, PH3, Ash3, SiH2C2, B2H6, B2H6, CH2F2, CH3F, Co ...
(iii) idapọmọra: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inert: N2,Cf4, C2F6,C4F8,Sf6, CO2,Ne,Kr, O ...

Ninu ilana ti samicondictor Squmidonctor Squeprector, nipa awọn oriṣi 50 ti awọn ategun pataki (tọka si awọn ategun pataki) ni a lo ni ifoyipo pataki, awọn ilana ilana lapapọ ati awọn igbesẹ ilana lapapọ kọja awọn ọgọọgọrun. Fun apẹẹrẹ, PH3 ati Ash3 ni a lo bi irawọ owurọ ati awọn orisun Aganic, BCH3, BCI3 ati H2O ni lilo ilana gbigbe, F2 / K, KRE / Ne, Kr / Ne, Kr / Ne, Kr / Ne, Kr / Ne, Kr / Ne, Kr / Ne, Kr / Ne, Kr / Ne, Kr / Ne, Kr / Ne

Lati awọn apakan loke, a le ni oye pe ọpọlọpọ awọn akinpasi semimiconctor jẹ ipalara fun ara eniyan. Ni pataki, diẹ ninu awọn ategun, gẹgẹ bi Sih4, jẹ ifasira ara ẹni. Niwọn igba ti wọn ba ti, wọn yoo fesi gidigidi pẹlu atẹgun ninu afẹfẹ ati bẹrẹ lati jo; ati Ash3 jẹ majele pupọ. Eyikeyi fifunmo kekere le fa ipalara si igbesi aye eniyan, nitorinaa awọn ibeere fun aabo ti apẹrẹ eto iṣakoso fun lilo awọn ategun pataki jẹ giga.

Awọn ẹgbẹ ti o ga nilo awọn ategun mimọ giga lati ni "awọn iwọn mẹta"

Gaasi mimọ

Awọn akoonu ti oju-aye ti oju omi ninu gaasi ni a ṣe afihan bi ipin mimọ gaasi ti mimọ gaasi, bii 99.9999%. Ni gbogbogbo, ibeere mimọ fun awọn ategun pataki ti itanna de ọdọ 5n-6n, ati pe o tun ṣafihan nipasẹ milionu ti PPM (Apá (apakan fun Prinllion). Aaye oju-omi kekere ti Itanna ni awọn ibeere mimọ ati iduroṣinṣin didara ti awọn ategun pataki jẹ eyiti awọn gaasi pataki ti itanna jẹ tobi ju 6n.

Gbigbẹ

Akoonu akoonu ninu gaasi, tabi tutu, a maa n ṣafihan ni aaye ìye, gẹgẹ bi aaye imulẹ-aye -70 ℃.

Mimọ

Nọmba ti awọn patikulu ti o ni itotant ni gaasi, patikulu pẹlu iwọn patiku ti μm, ni a fihan ninu iye awọn patikulu / M3 pupọ. Fun afẹfẹ ti a fisinuirindigbindigbin, o han nigbagbogbo ni MG / M3 ti awọn iṣẹku to lagbara, eyiti o pẹlu akoonu epo.