Nínú iṣẹ́ ṣíṣe àwọn ilé iṣẹ́ wafer semiconductor pẹ̀lú àwọn iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ tó ti pẹ́, ó fẹ́rẹ̀ẹ́ tó oríṣiríṣi gaasi 50. A sábà máa ń pín àwọn gaasi sí àwọn gaasi onípele àtiàwọn gáàsì pàtàkì.

Lilo awọn gaasi ninu awọn ile-iṣẹ microelectronics ati semiconductor Lilo awọn gaasi ti ṣe ipa pataki nigbagbogbo ninu awọn ilana semiconductor, paapaa awọn ilana semiconductor ni a lo ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ. Lati ULSI, TFT-LCD si ile-iṣẹ micro-electromechanical (MEMS) lọwọlọwọ, awọn ilana semiconductor ni a lo gẹgẹbi awọn ilana iṣelọpọ ọja, pẹlu etching dry, oxidation, ion implantation, tinrin film deposition, ati bẹbẹ lọ.

Fún àpẹẹrẹ, ọ̀pọ̀ ènìyàn mọ̀ pé a fi iyanrìn ṣe àwọn ìṣùpọ̀, ṣùgbọ́n ní wíwo gbogbo ìlànà ṣíṣe ìṣùpọ̀, a nílò àwọn ohun èlò púpọ̀ sí i, bí photoresist, polishing liquid, target material, special gaasi, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àpò ìdìpọ̀ ẹ̀yìn tún nílò àwọn ohun èlò ìdàpọ̀, àwọn ohun èlò ìdènà, àwọn frame lead, àwọn ohun èlò ìdènà, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ ti onírúurú ohun èlò. Àwọn gáàsì pàtàkì elekitironiki ni ohun èlò kejì tó tóbi jùlọ nínú iye owó ṣíṣe semiconductor lẹ́yìn àwọn wafer silicon, lẹ́yìn náà ni àwọn ìbòjú àti àwọn photoresists.

Ìmọ́tótó gaasi ní ipa pàtàkì lórí iṣẹ́ àwọn èròjà àti ìṣẹ̀dá ọjà, àti ààbò ìpèsè gaasi ní í ṣe pẹ̀lú ìlera àwọn òṣìṣẹ́ àti ààbò iṣẹ́ ilé iṣẹ́. Kí ló dé tí mímọ́ gaasi fi ní ipa ńlá lórí ìlà iṣẹ́ àti àwọn òṣìṣẹ́? Èyí kì í ṣe àṣejù, ṣùgbọ́n àwọn ànímọ́ ewu ti gaasi fúnra rẹ̀ ni a pinnu.

Ìpínsísọ̀rí àwọn gaasi tí ó wọ́pọ̀ nínú iṣẹ́ semikondokito

Gaasi Lasan

A tun n pe gaasi lasan ni gaasi bulk: o n tọka si gaasi ile-iṣẹ pẹlu ibeere mimọ ti o kere ju 5N lọ ati iwọn iṣelọpọ ati tita nla. A le pin si gaasi iyapa afẹfẹ ati gaasi sintetiki gẹgẹbi awọn ọna igbaradi oriṣiriṣi. Hydrogen (H2), nitrogen (N2), oxygen (O2), argon (A2), ati bẹbẹ lọ;

Gaasi Pataki

Gáàsì pàtàkì tọ́ka sí gáàsì ilé-iṣẹ́ tí a ń lò ní àwọn pápá pàtó kan tí ó sì ní àwọn ohun pàtàkì fún mímọ́, onírúurú, àti àwọn ohun ìní.SiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… ati bẹbẹ lọ.

Àwọn Irú Àwọn Gáàsì Alágbára

Àwọn irú àwọn gáàsì pàtàkì: ìbàjẹ́, olóró, ó lè jóná, ó lè gbé iná ró, kò lè jóná, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Àwọn gaasi semikondokito tí a sábà máa ń lò ni a pín sí àwọn wọ̀nyí:
(i) Ohun tí ó lè ba nǹkan jẹ́/èèléèjẹ:HCl、BF3、 WF6、 HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、BCl3…
(ii) Ó lè jóná: H2,CH4,SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Ohun tí ó lè jóná: O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) Aláìlera: N2,CF4,C2F6,C4F8,SF6,CO2,Ne,Kr, Ó…

Nínú ìlànà ṣíṣe àwọn ërún semiconductor, nǹkan bí oríṣiríṣi 50 àwọn gaasi pàtàkì (tí a ń pè ní àwọn gaasi pàtàkì) ni a lò nínú oxidation, ìtànkálẹ̀, ìdènà, ìdènà, ìdènà, ìfúnpọ̀, photolithography àti àwọn ìlànà mìíràn, àti gbogbo ìgbésẹ̀ ìlànà náà ju ọgọ́rùn-ún lọ. Fún àpẹẹrẹ, a ń lo PH3 àti AsH3 gẹ́gẹ́ bí orísun phosphorus àti arsenic nínú ìlànà ìdènà ion, àwọn gaasi tí ó dá lórí F CF4, CHF3, SF6 àti àwọn gaasi halogen CI2, BCI3, HBr ni a sábà máa ń lò nínú ìlànà ìdènà, SiH4, NH3, N2O nínú ìlànà ìdènà fíìmù, F2/Kr/Ne, Kr/Ne nínú ìlànà photolithography.

Láti inú àwọn apá tí a mẹ́nu kàn lókè yìí, a lè lóye pé ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn gáàsì semiconductor ló léwu sí ara ènìyàn. Pàápàá jùlọ, díẹ̀ lára ​​àwọn gáàsì, bíi SiH4, ló máa ń jó ara wọn. Níwọ̀n ìgbà tí wọ́n bá ti ń jó, wọ́n á máa hùwà pẹ̀lú atẹ́gùn nínú afẹ́fẹ́, wọ́n á sì bẹ̀rẹ̀ sí í jóná; AsH3 sì jẹ́ majele gidigidi. Èyíkéyìí ìjáde omi díẹ̀ lè fa ìpalára fún ẹ̀mí àwọn ènìyàn, nítorí náà, àwọn ohun tí a nílò fún ààbò ètò ìṣàkóso fún lílo àwọn gáàsì pàtàkì ga gidigidi.

Àwọn afẹ́fẹ́ Semiconductors nílò àwọn gáàsì mímọ́ gíga láti ní “ìwọ̀n mẹ́ta”

Ìmọ́tótó gáàsì

A maa n fi akoonu afẹ́fẹ́ àìmọ́ hàn ninu gaasi gẹgẹbi ipin ogorun mimọ gaasi, bii 99.9999%. Ni gbogbogbo, ibeere mimọ fun awọn gaasi pataki itanna de 5N-6N, ati pe a tun n fi ipin iwọn didun ti akoonu afẹ́fẹ́ àìmọ́ ppm (apakan fun miliọnu), ppb (apakan fun bilionu), ati ppt (apakan fun trillion). Agbègbè semiconductor elekitironiki ni awọn ibeere ti o ga julọ fun mimọ ati iduroṣinṣin didara ti awọn gaasi pataki, ati mimọ ti awọn gaasi pataki elekitironiki ni gbogbogbo tobi ju 6N lọ.

Gbígbẹ

A maa n fi akoonu omi ti o wa ninu gaasi, tabi omi tutu han ni aaye ìri, gẹgẹbi aaye ìri afẹfẹ -70℃.

Ìmọ́tótó

Iye awọn patikulu idoti ninu gaasi, awọn patikulu ti o ni iwọn patikulu ti µm, ni a fihan ninu iye patikulu/M3. Fun afẹfẹ ti a fi sinu, a maa n fihan ninu mg/m3 ti awọn ajẹkù lile ti ko ṣee ṣe, eyiti o pẹlu akoonu epo.