Ninu ilana iṣelọpọ ti awọn ipilẹ wafer semikondokito pẹlu awọn ilana iṣelọpọ to ti ni ilọsiwaju, o fẹrẹ to awọn iru gaasi 50 ni a nilo. Gaasi ti wa ni gbogbo pin si olopobobo ategun atipataki gaasi.

Ohun elo ti awọn gaasi ni microelectronics ati awọn ile-iṣẹ semikondokito Lilo awọn gaasi nigbagbogbo ṣe ipa pataki ninu awọn ilana semikondokito, paapaa awọn ilana semikondokito ni lilo pupọ ni awọn ile-iṣẹ pupọ. Lati ULSI, TFT-LCD si ile-iṣẹ micro-electromechanical (MEMS) lọwọlọwọ, awọn ilana semikondokito ni a lo bi awọn ilana iṣelọpọ ọja, pẹlu etching gbẹ, oxidation, ion implantation, fifẹ fiimu tinrin, ati bẹbẹ lọ.

Fun apẹẹrẹ, ọpọlọpọ eniyan mọ pe awọn eerun igi jẹ iyanrin, ṣugbọn wiwo gbogbo ilana ti iṣelọpọ chirún, awọn ohun elo diẹ sii ni a nilo, bii photoresist, omi didan, ohun elo ibi-afẹde, gaasi pataki, bbl jẹ pataki. Apoti-ipari tun nilo awọn sobusitireti, awọn interposers, awọn fireemu adari, awọn ohun elo imora, ati bẹbẹ lọ ti awọn ohun elo lọpọlọpọ. Awọn gaasi pataki itanna jẹ ohun elo ẹlẹẹkeji ti o tobi julọ ni awọn idiyele iṣelọpọ semikondokito lẹhin awọn wafer ohun alumọni, atẹle nipasẹ awọn iboju iparada ati awọn olutayo.

Iwa-mimọ ti gaasi ni ipa ipinnu lori iṣẹ paati ati ikore ọja, ati aabo ti ipese gaasi jẹ ibatan si ilera ti oṣiṣẹ ati aabo ti iṣẹ ile-iṣẹ. Kini idi ti mimọ gaasi ni ipa nla bẹ lori laini ilana ati oṣiṣẹ? Eyi kii ṣe asọtẹlẹ, ṣugbọn o pinnu nipasẹ awọn abuda ti o lewu ti gaasi funrararẹ.

Pipin ti awọn gaasi ti o wọpọ ni ile-iṣẹ semikondokito

Gaasi deede

Gaasi deede ni a tun pe ni gaasi olopobobo: o tọka si gaasi ile-iṣẹ pẹlu ibeere mimọ ti o kere ju 5N ati iṣelọpọ nla ati iwọn tita. O le pin si gaasi iyapa afẹfẹ ati gaasi sintetiki gẹgẹbi awọn ọna igbaradi oriṣiriṣi. Hydrogen (H2), nitrogen (N2), atẹgun (O2), argon (A2), bbl;

Gaasi pataki

Gaasi Pataki tọka si gaasi ile-iṣẹ ti o lo ni awọn aaye kan pato ati pe o ni awọn ibeere pataki fun mimọ, oriṣiriṣi, ati awọn ohun-ini. Ni patakiSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCLCF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… ati bẹbẹ lọ.

Orisi ti Spicial ategun

Awọn oriṣi ti awọn gaasi pataki: ibajẹ, majele, flammable, atilẹyin ijona, inert, bbl
Awọn gaasi semikondokito ti o wọpọ ti jẹ ipin gẹgẹbi atẹle:
(i) Ibajẹ/majele:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) Flammable: H2,CH4,SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Ijona: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Inert: N2,CF4C2F6,C4F8,SF6CO2,Ne,Kr,Oun…

Ninu ilana iṣelọpọ chirún semikondokito, nipa awọn oriṣi 50 oriṣiriṣi ti awọn gaasi pataki (ti a tọka si bi awọn gaasi pataki) ni a lo ninu ifoyina, itankale, ifisilẹ, etching, abẹrẹ, fọtolithography ati awọn ilana miiran, ati awọn igbesẹ ilana lapapọ kọja awọn ọgọọgọrun. Fun apẹẹrẹ, PH3 ati AsH3 ni a lo bi irawọ owurọ ati awọn orisun arsenic ninu ilana fifin ion, awọn gaasi orisun F CF4, CHF3, SF6 ati awọn gaasi halogen CI2, BCI3, HBr ni a lo nigbagbogbo ni ilana etching, SiH4, NH3, N2O ni ilana fiimu ifisilẹ, F2/Kr/Ne, Kr/Ne ninu ilana fọtolithography.

Lati awọn aaye ti o wa loke, a le loye pe ọpọlọpọ awọn gaasi semikondokito jẹ ipalara si ara eniyan. Ni pato, diẹ ninu awọn gaasi, gẹgẹbi SiH4, jẹ ina-ara. Niwọn igba ti wọn ba n jo, wọn yoo fesi ni agbara pẹlu atẹgun ninu afẹfẹ ati bẹrẹ lati jo; ati AsH3 jẹ majele ti o ga. Eyikeyi jijo diẹ le fa ipalara si awọn igbesi aye eniyan, nitorinaa awọn ibeere fun aabo ti apẹrẹ eto iṣakoso fun lilo awọn gaasi pataki ga julọ.

Semiconductors nilo awọn gaasi mimọ-giga lati ni “awọn iwọn mẹta”

Gaasi ti nw

Akoonu ti oju-aye aimọ ninu gaasi ni a maa n ṣalaye bi ipin kan ti mimọ gaasi, bii 99.9999%. Ni gbogbogbo, ibeere mimọ fun awọn gaasi pataki eletiriki de 5N-6N, ati pe o tun ṣafihan nipasẹ ipin iwọn didun ti akoonu oju-aye aimọ ppm (apakan fun miliọnu), ppb (apakan fun bilionu), ati ppt (apakan fun aimọye kan). Aaye semikondokito itanna ni awọn ibeere ti o ga julọ fun mimọ ati iduroṣinṣin didara ti awọn gaasi pataki, ati mimọ ti awọn gaasi pataki itanna ni gbogbogbo tobi ju 6N.

Gbígbẹ

Akoonu ti omi itọpa ninu gaasi, tabi tutu, ni a maa n ṣafihan ni aaye ìri, gẹgẹbi aaye ìri oju-aye -70℃.

Ìmọ́tótó

Nọmba awọn patikulu idoti ninu gaasi, awọn patikulu pẹlu iwọn patiku kan ti µm, jẹ afihan ni iye awọn patikulu/M3. Fun afẹfẹ fisinuirindigbindigbin, o maa n ṣafihan ni mg/m3 ti awọn iṣẹku ti o lagbara ti ko ṣee ṣe, eyiti o pẹlu akoonu epo.