Ní ọdún 2018, ọjà gaasi itanna agbaye fun awọn iyika ti a ti ṣepọ de US$4.512 bilionu, ilosoke ọdun de ọdun ti 16%. Iwọn idagbasoke giga ti ile-iṣẹ gaasi pataki itanna fun awọn semiconductors ati iwọn ọja nla ti mu ki eto rirọpo gaasi pataki itanna yara!
Kí ni gaasi elekitironi?
Gaasi itanna n tọka si ohun elo ipilẹ ti a lo ninu iṣelọpọ awọn semiconductors, awọn ifihan panẹli alapin, awọn diodes ti n jade ina, awọn sẹẹli oorun ati awọn ọja itanna miiran, a si lo o ni ibigbogbo ninu mimọ, fifin, dida fiimu, doping ati awọn ilana miiran. Awọn agbegbe lilo akọkọ ti gaasi itanna ni ile-iṣẹ itanna, awọn sẹẹli oorun, awọn ibaraẹnisọrọ alagbeka, lilọ kiri ọkọ ayọkẹlẹ ati awọn eto ohun ati fidio ọkọ ayọkẹlẹ, ọkọ ofurufu, ile-iṣẹ ologun ati ọpọlọpọ awọn aaye miiran.
A le pin gaasi pataki itanna si awọn ẹka meje gẹgẹbi akopọ kemikali tirẹ: silikoni, arsenic, phosphorus, boron, metal hydride, halide ati metal alkoxide. Gẹgẹbi awọn ọna lilo oriṣiriṣi ninu awọn iyika ti a ti sopọ mọ, a le pin si gaasi doping, gaasi epitaxy, gaasi implantation ion, gaasi diode ti n jade ina, gaasi etching, gaasi vapor deposition kemikali ati gaasi iwontunwonsi. Awọn gaasi pataki ti o ju 110 lọ lo wa ninu ile-iṣẹ semiconductor, eyiti o ju 30 lọ ni a lo nigbagbogbo.
Ni gbogbogbo, ile-iṣẹ iṣelọpọ semiconductor pin awọn gaasi si oriṣi meji: awọn gaasi ti a wọpọ ati awọn gaasi pataki. Lara wọn, gaasi ti a lo nigbagbogbo tọka si ipese ti o wa ni aarin ati pe o nlo ọpọlọpọ gaasi, gẹgẹbi N2, H2, O2, Ar, He, ati bẹbẹ lọ. Gaasi pataki tọka si diẹ ninu awọn gaasi kemikali ti a lo ninu ilana iṣelọpọ semiconductor, gẹgẹbi itẹsiwaju, abẹrẹ ion, idapọ, fifọ, ati dida iboju, eyiti a pe ni gaasi pataki elekitironi bayi, gẹgẹbi mimọ giga SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, ati bẹbẹ lọ.
Nínú gbogbo iṣẹ́ ìṣẹ̀dá ilé iṣẹ́ semiconductor, láti ìdàgbàsókè chip sí ìdìpọ̀ ẹ̀rọ ìkẹyìn, ó fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ pé gbogbo ìjápọ̀ ni a kò lè yà sọ́tọ̀ kúrò nínú gaasi pàtàkì elekitironiki, àti oríṣiríṣi gaasi tí a lò àti àwọn ohun tí a nílò láti mú kí ó dára, nítorí náà gaasi elekitironiki ní àwọn ohun èlò semiconductor. “Oúnjẹ”.
Ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí, àwọn ohun èlò itanna pàtàkì ní China bíi semiconductors àti àwọn pánẹ́lì ìfihàn ti pọ̀ sí i ní agbára ìṣelọ́pọ́ tuntun, ìbéèrè tó lágbára sì wà fún lílo àwọn ohun èlò kemikali oníná tí a kó wọlé. Ipò àwọn gaasi oníná nínú iṣẹ́ semiconductors ti di ohun tó ń tàn kálẹ̀ sí i. Ilé iṣẹ́ gaasi oníná nínú ilé yóò mú kí ìdàgbàsókè yára kánkán wáyé.
Gaasi pataki itanna ni awọn ibeere giga pupọ fun mimọ, nitori ti mimọ ko ba to awọn ibeere, awọn ẹgbẹ alaimọ bii omi oru ati atẹgun ninu gaasi pataki itanna yoo ṣe fiimu oxide ni irọrun lori oju semiconductor, eyiti o ni ipa lori igbesi aye iṣẹ ti awọn ẹrọ itanna, ati pe gaasi pataki itanna ni awọn patikulu ti awọn alaimuṣinṣin le fa awọn iyika kukuru semiconductor ati ibajẹ circuit. A le sọ pe ilọsiwaju ti mimọ ṣe ipa pataki ninu ikore ati iṣẹ ti iṣelọpọ ẹrọ itanna.
Pẹ̀lú ìdàgbàsókè tí ilé iṣẹ́ semiconductor ń ṣe nígbà gbogbo, ìlànà ṣíṣe àwọn ërún ń tẹ̀síwájú láti sunwọ̀n sí i, ó sì ti dé 5nm báyìí, èyí tí ó fẹ́rẹ̀ dé ààlà Moore's Law, èyí tí ó dọ́gba pẹ̀lú ogún ìwọ̀n iwọ̀n irun ènìyàn kan (tó tó 0.1 mm). Nítorí náà, èyí tún ń gbé àwọn ìbéèrè gíga kalẹ̀ lórí mímọ́ gaasi pàtàkì ti ẹ̀rọ itanna tí àwọn semiconductor ń ṣe.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-15-2021
