Ni ọdun 2018, ọja gaasi itanna agbaye fun awọn iyika iṣọpọ de US $ 4.512 bilionu, ilosoke ọdun-lori ọdun ti 16%. Iwọn idagbasoke giga ti ile-iṣẹ gaasi pataki eletiriki fun awọn semikondokito ati iwọn ọja nla ti mu ero aropo ile ti gaasi pataki itanna!
Kini gaasi elekitironi?
Gaasi Itanna n tọka si ohun elo orisun ipilẹ ti a lo ninu iṣelọpọ ti awọn semikondokito, awọn ifihan nronu alapin, awọn diodes ti njade ina, awọn sẹẹli oorun ati awọn ọja itanna miiran, ati pe o lo pupọ ni mimọ, etching, dida fiimu, doping ati awọn ilana miiran. Awọn agbegbe ohun elo akọkọ ti gaasi itanna pẹlu ile-iṣẹ itanna, awọn sẹẹli oorun, awọn ibaraẹnisọrọ alagbeka, lilọ ọkọ ayọkẹlẹ ati ohun afetigbọ ọkọ ayọkẹlẹ ati awọn ọna fidio, afẹfẹ, ile-iṣẹ ologun ati ọpọlọpọ awọn aaye miiran.
Gaasi pataki itanna le pin si awọn ẹka meje ni ibamu si ipilẹ kemikali tirẹ: silikoni, arsenic, irawọ owurọ, boron, hydride irin, halide ati alkoxide irin. Gẹgẹbi awọn ọna ohun elo ti o yatọ ni awọn iyika iṣọpọ, o le pin si gaasi doping, gaasi epitaxy, gaasi ifinu ion, gaasi diode ti njade ina, gaasi etching, gaasi gbigbe eeru kemikali ati gaasi iwọntunwọnsi. Awọn gaasi pataki ti o ju 110 lọ ti a lo ninu ile-iṣẹ semikondokito, eyiti o ju 30 lọ ti a lo nigbagbogbo.
Ni gbogbogbo, ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito pin awọn gaasi si awọn oriṣi meji: awọn gaasi ti o wọpọ ati awọn gaasi pataki. Lara wọn, gaasi ti a lo nigbagbogbo n tọka si ipese ti aarin ati pe o nlo gaasi pupọ, bii N2, H2, O2, Ar, He, ati bẹbẹ lọ. itẹsiwaju, abẹrẹ ion, idapọmọra, fifọ, ati idasile iboju-boju, eyiti a pe ni bayi gaasi pataki itanna, gẹgẹbi giga-mimọ SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, ati bẹbẹ lọ.
Ninu gbogbo ilana iṣelọpọ ti ile-iṣẹ semikondokito, lati idagbasoke chirún si iṣakojọpọ ẹrọ ikẹhin, o fẹrẹ jẹ pe gbogbo ọna asopọ jẹ eyiti a ko ya sọtọ si gaasi pataki itanna, ati ọpọlọpọ gaasi ti a lo ati awọn ibeere didara to gaju, nitorinaa gaasi itanna ni awọn ohun elo semikondokito. "Ounjẹ".
Ni awọn ọdun aipẹ, awọn paati itanna pataki ti Ilu China gẹgẹbi awọn semikondokito ati awọn panẹli ifihan ti pọ si ni agbara iṣelọpọ tuntun, ati pe ibeere ti o lagbara wa fun iyipada agbewọle ti awọn ohun elo kemikali itanna. Ipo ti awọn gaasi itanna ni ile-iṣẹ semikondokito ti di olokiki siwaju sii. Ile-iṣẹ gaasi eletiriki inu ile yoo mu idagbasoke ni iyara.
Gaasi pataki itanna ni awọn ibeere ti o ga pupọ fun mimọ, nitori ti mimọ ko ba to awọn ibeere, awọn ẹgbẹ aimọ gẹgẹbi omi oru ati atẹgun ninu gaasi pataki itanna yoo ni irọrun ṣe fiimu ohun elo afẹfẹ lori oju ti semikondokito, eyiti o ni ipa lori aye iṣẹ ti awọn ẹrọ itanna, ati awọn ẹrọ itanna gaasi pataki ni Awọn patikulu ti impurities le fa semikondokito kukuru iyika ati Circuit bibajẹ. O le sọ pe ilọsiwaju ti mimọ ṣe ipa pataki ninu ikore ati iṣẹ iṣelọpọ ẹrọ itanna.
Pẹlu idagbasoke ilọsiwaju ti ile-iṣẹ semikondokito, ilana iṣelọpọ chirún tẹsiwaju lati ni ilọsiwaju, ati ni bayi o ti de 5nm, eyiti o fẹrẹ sunmọ opin ti Ofin Moore, eyiti o jẹ deede si 20th ti iwọn ila opin ti irun eniyan ( nipa 0.1 mm). Nitorinaa, eyi tun gbe awọn ibeere ti o ga julọ siwaju si mimọ ti gaasi pataki itanna ti a ṣe nipasẹ awọn alamọdaju.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-15-2021
