Ile-iṣẹ Semiciotuctor ile-iṣẹ wa ati ile-iṣẹ nronu ṣetọju ipele giga ti aisiki. Nitrogen Terroorde, bi indispensable ati iwọn lilo itanna ti o tobi julọ ni iṣelọpọ ati sikiri ti awọn panẹli ati awọn isomita, ni aaye ọja ọjà.
Apapọ flurinesulfur Hexafluor (sf6), tungsten hexafluor (WF6),erogba Tortafluide (CF4), Trifluromehane (CHF3), nitrogen Terrioride (NF3), Hexfluorne (C2F6) ati OctafluoroprooroprooRoRoprooRoproprooRoRoprooRoproprooRoprooRoproprophopae (C3F8). Nitrogen Trifluoride (NF3) ni a lo bi orisun omi mimọ fun hydrogen fluoride-fliorade gaasi giga-agbara. Apakan ti o munadoko (nipa 25%) Ninu agbara ifura laarin H2-O2 ati F2 ti o wa ni Laser, nitorinaa HF-ti Lasars ti o ni ileri pupọ julọ laarin awọn alalẹsẹ kemikali.
Nitrogen Trefluide jẹ gaasi Pisma ti o tayọ ni ile-iṣẹ microelictory. Fun etconon nitride, nitrogen trifluide ni oṣuwọn ettring ti o ga julọ ati ohun elo ju erogba Tertafluoride ati atẹgun ko si dada. Paapa ni etching ti awọn ohun elo yika yika pẹlu sisanra ti o kere ju 1.5um, nitrogen Trefluide ni oṣuwọn ti o dara pupọ ati fifi ko si aṣoju ti o dara pupọ. Pẹlu idagbasoke ti nanotechnology ati idagbasoke nla ti awọn itanna ile-iṣẹ itanna, eletan rẹ yoo pọ si ni ọjọ lojoojumọ.
Gẹgẹbi iru epo-ara-omi ti o ni gaasi pataki, nitrogen Trifluoride (NF3) jẹ ọja gaasi pataki ti ẹrọ gaasi nla ti o tobi julọ ni ọja. O jẹ ifunpọ chemically ni iwọn otutu yara, ti n ṣiṣẹ ju atẹgun lọ, idurosinsin ju pọnaine lọ, ati irọrun lati mu ni iwọn otutu to gaju.
Nitrogen Trafluide ni a lo ni pataki bi gaasi pilasima ati pe o dara fun awọn aaye iṣelọpọ gẹgẹ bi awọn eeka iṣelọpọ, awọn okun alapin, awọn sẹẹli fọto, bbl.
Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn ategun itanna miiran, nitrogen Trifluide ni awọn anfani ti ohun elo ti o dara julọ, ati pe ko ni iṣapẹẹrẹ pupọ ti ilana ilana.
Akoko Post: ọdun 26-2024
