Ile-iṣẹ semikondokito ti orilẹ-ede wa ati ile-iṣẹ nronu ṣetọju ipele giga ti aisiki. Nitrogen trifluoride, gẹgẹbi ko ṣe pataki ati gaasi itanna pataki iwọn didun ti o tobi julọ ni iṣelọpọ ati sisẹ awọn panẹli ati awọn alamọdaju, ni aaye ọja gbooro.
Fluorine ti o wọpọ ti o ni awọn gaasi itanna pataki pẹlusulfur hexafluoride (SF6)tungsten hexafluoride (WF6),erogba tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ati octafluoropropane (C3F8). Nitrogen trifluoride (NF3) ni a lo ni pataki bi orisun fluorine fun gaasi ti hydrogen fluoride-fluoride gaasi ti o ni agbara agbara ti kemikali ina. Apakan ti o munadoko (bii 25%) ti agbara ifaseyin laarin H2-O2 ati F2 ni a le tu silẹ nipasẹ itọsi laser, nitorinaa awọn lasers HF-OF jẹ awọn lasers ti o ni ileri julọ laarin awọn laser kemikali.
Nitrogen trifluoride jẹ gaasi etching pilasima ti o dara julọ ni ile-iṣẹ microelectronics. Fun ohun alumọni etching ati ohun alumọni nitride, nitrogen trifluoride ni oṣuwọn etching ti o ga julọ ati yiyan ju erogba tetrafluoride ati adalu erogba tetrafluoride ati atẹgun, ati pe ko ni idoti si dada. Paapa ni etching ti awọn ohun elo iyika ti a ṣepọ pẹlu sisanra ti o kere ju 1.5um, nitrogen trifluoride ni oṣuwọn etching ti o dara julọ ati yiyan, ti ko fi iyokù silẹ lori dada ti ohun etched, ati pe o tun jẹ oluranlowo mimọ ti o dara julọ. Pẹlu idagbasoke ti nanotechnology ati idagbasoke titobi nla ti ile-iṣẹ itanna, ibeere rẹ yoo pọ si lojoojumọ.
Gẹgẹbi iru gaasi pataki ti o ni fluorine, nitrogen trifluoride (NF3) jẹ ọja gaasi pataki itanna ti o tobi julọ ni ọja naa. O jẹ inert kemikali ni iwọn otutu yara, ṣiṣẹ diẹ sii ju atẹgun atẹgun, iduroṣinṣin diẹ sii ju fluorine, ati rọrun lati mu ni iwọn otutu giga.
Nitrogen trifluoride jẹ lilo akọkọ bi gaasi etching pilasima ati aṣoju mimọ iyẹwu ifasẹ, o dara fun awọn aaye iṣelọpọ gẹgẹbi awọn eerun semikondokito, awọn ifihan nronu alapin, awọn okun opiti, awọn sẹẹli fọtovoltaic, ati bẹbẹ lọ.
Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn gaasi itanna miiran ti o ni fluorine, nitrogen trifluoride ni awọn anfani ti iyara iyara ati ṣiṣe giga, ni pataki ni etching ti awọn ohun elo ti o ni ohun alumọni gẹgẹbi ohun alumọni nitride, o ni iwọn etching giga ati yiyan, ti ko fi iyokù silẹ lori dada ti ohun elo etched, ati pe o tun jẹ oluranlowo mimọ ti o dara pupọ, ati pe kii ṣe ati pe o le pade ilana ilana ti o nilo.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-26-2024
