Iye Gaasi Pataki Itanna Ti o Tobi julo – Nitrogen Trifluoride NF3

Ilé iṣẹ́ semiconductor àti ilé iṣẹ́ paneli orílẹ̀-èdè wa ń tọ́jú àṣeyọrí gíga. Nitrogen trifluoride, gẹ́gẹ́ bí gaasi itanna pàtàkì tí kò ṣe pàtàkì àti èyí tí ó tóbi jùlọ nínú iṣẹ́ ṣíṣe àti ṣíṣe àwọn paneli àti semiconductor, ní ààyè ọjà tí ó gbòòrò.

Àwọn gaasi itanna pataki tí ó ní fluorine tí a sábà máa ń lò nisulfur hexafluoride (SF6)tungsten hexafluoride (WF6),erogba tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) àti octafluoropropane (C3F8). Nitrogen trifluoride (NF3) ni a maa n lo gege bi orisun fluorine fun awon lesa kemikali hydrogen fluoride-fluoride ti o ga-agbara gaasi. Apa ti o munadoko (nipa 25%) ti agbara iṣedasi laarin H2-O2 ati F2 le jade nipasẹ itansan lesa, nitorinaa awọn lesa HF-OF jẹ awọn lesa ti o ni ileri julọ laarin awọn lesa kemikali.

Nitrogen trifluoride jẹ́ gáàsì ìfọ́ plasma tó dára jùlọ nínú iṣẹ́ microelectronics. Fún ìfọ́ silicon àti silicon nitride, nitrogen trifluoride ní ìwọ̀n ìfọ́ àti ìfọ́ tí ó ga ju carbon tetrafluoride àti àdàpọ̀ carbon tetrafluoride àti oxygen lọ, kò sì ní ìbàjẹ́ kankan sí ojú ilẹ̀. Pàápàá jùlọ nínú ìfọ́ àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ tí a ti so pọ̀ pẹ̀lú ìfúnpọ̀ tí kò tó 1.5um, nitrogen trifluoride ní ìwọ̀n ìfọ́ àti ìfọ́ tí ó tayọ, tí kò fi ìyókù sílẹ̀ lórí ojú ohun tí a fi gé, ó sì tún jẹ́ ohun ìwẹ̀nùmọ́ tó dára gan-an. Pẹ̀lú ìdàgbàsókè nanotechnology àti ìdàgbàsókè ńlá ti ilé iṣẹ́ itanna, ìbéèrè rẹ̀ yóò máa pọ̀ sí i lójoojúmọ́.

Gẹ́gẹ́ bí irú gáàsì pàtàkì tí ó ní fluorine, nitrogen trifluoride (NF3) ni ọjà gáàsì pàtàkì oníná tó tóbi jùlọ ní ọjà. Ó jẹ́ aláìlera ní ìwọ̀n otútù yàrá, ó ń ṣiṣẹ́ ju atẹ́gùn lọ, ó dúró ṣinṣin ju fluorine lọ, ó sì rọrùn láti lò ní ìwọ̀n otútù gíga.

Nitrogen trifluoride ni a maa n lo gege bi gaasi plasma etching ati reaction chamber cleaning, o dara fun awon aaye isejade bi semiconductor chips, flat panel displays, okùn optical, photovoltaic cells, ati beebee lo.

Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn gáàsì oníná mìíràn tí ó ní fluorine, nitrogen trifluoride ní àwọn àǹfààní ti ìhùwàpadà kíákíá àti ìṣiṣẹ́ gíga, pàápàá jùlọ nínú fífún àwọn ohun èlò tí ó ní silicon bíi silicon nitride ní ìfọ́, ó ní ìwọ̀n fífọ́ gíga àti yíyàn, kò fi àṣẹ́kù sílẹ̀ lórí ojú ohun tí a fi ìfọ́ náà gé, ó sì tún jẹ́ ohun ìwẹ̀nùmọ́ tí ó dára gan-an, kò sì lè ba ojú jẹ́, ó sì lè bá àìní ìlànà ìṣiṣẹ́ mu.