Awọn ohun elo fifẹ ti o wọpọ ti o ni awọn eefin itanna pataki pẹlusulfur Hexafluor (sf6), tungsten hexafluor (WF6),erogba Tortafluide (CF4), Trifluromehane (CHF3), nitrogen Terrioride (NF3), Hexfluorne (C2F6) ati OctafluoroprooroprooRoRoprooRoproprooRoRoprooRoproprooRoprooRoproprophopae (C3F8).
Pẹlu idagbasoke ti nanotechnology ati idagbasoke nla ti awọn itanna ile-iṣẹ itanna, eletan rẹ yoo pọ si ni ọjọ lojoojumọ. Nitrogen Terroorde, bi alailopọ ati lilo gaasi itanna pataki pataki ni iṣelọpọ ati sikiri awọn panẹli ati awọn isomita, ni aaye ọja ọjà.
Gẹgẹbi iru omi-flutine-ti o ni gaasi pataki,nitrogen Trifluoride (NF3)ni ọja gaasi pataki ti itanna pẹlu agbara ọja ti o tobi julọ. O jẹ ifunpọ chemically ni iwọn otutu yara, ti n ṣiṣẹ ju atẹgun lọ ni iwọn otutu giga, idurosinsin diẹ ju ti pọnti, ati rọrun lati mu. Nitrogen Terrioride ni a lo ni akọkọ bi gaasi pilasima etching ati pe o dara fun awọn aaye iṣelọpọ ti awọn igi iṣelọpọ Sinmiconctor, ati pe awọn okun ti o jẹ, awọn sẹẹli fọto, bbl
Akawe pẹlu miiran-omi-omije ti o ni awọn eefin itanna,nitrogen TrefluideNi awọn anfani ti iṣesi iyara ati ṣiṣe giga. Paapa ni etching ti awọn ohun elo ti o ni siliki-ti o ni siliki nitride, o ni oṣuwọn etching giga ati yiyan, ko fi silẹ ko si igbejade lori oke ti ohun etched. O tun jẹ aṣoju titu-o dara pupọ ati pe ko ni idoti si dada, eyiti o le pade awọn iwulo ilana ilana.
Akoko Post: Sep-14-2024
