Àwọn gaasi itanna pataki tí ó ní fluorine tí ó wọ́pọ̀ pẹ̀lúsulfur hexafluoride (SF6)tungsten hexafluoride (WF6),erogba tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) àti octafluoropropane (C3F8).
Pẹ̀lú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ nano àti ìdàgbàsókè ńlá ti ilé-iṣẹ́ ẹ̀rọ itanna, ìbéèrè rẹ̀ yóò máa pọ̀ sí i lójoojúmọ́. Nitrogen trifluoride, gẹ́gẹ́ bí gaasi itanna pàtàkì tí a kò ṣe pàtàkì àti tí a lò jùlọ nínú iṣẹ́ ṣíṣe àti ṣíṣe àwọn paneli àti semiconductors, ní àyè ọjà tí ó gbòòrò.
Gẹ́gẹ́ bí irú gáàsì pàtàkì tí ó ní fluorine,nitrogen trifluoride (NF3)ni ọjà gáàsì pàtàkì ẹ̀rọ itanna tí ó ní agbára ọjà tó pọ̀ jùlọ. Ó jẹ́ aláìlera ní ìwọ̀n otútù yàrá, ó ń ṣiṣẹ́ ju atẹ́gùn lọ ní ìwọ̀n otútù gíga, ó dúró ṣinṣin ju fluorine lọ, ó sì rọrùn láti lò. A sábà máa ń lo Nitrogen trifluoride gẹ́gẹ́ bí gáàsì ìfọ́ plasma àti ohun èlò ìfọmọ́ yàrá ìṣẹ́dá, ó sì yẹ fún àwọn pápá ìṣelọ́pọ́ àwọn ìṣùpọ̀ semiconductor, àwọn ìfihàn flat panel, àwọn optical fibers, àwọn sẹ́ẹ̀lì photovoltaic, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn gáàsì oníná mìíràn tí ó ní fluorine,nitrogen trifluorideÓ ní àwọn àǹfààní ìhùwàpadà kíákíá àti ìṣiṣẹ́ gíga. Pàápàá jùlọ nínú fífún àwọn ohun èlò tí ó ní silicon bíi silicon nitride ní ìfọ́, ó ní ìwọ̀n fífọ́ gíga àti yíyàn, kò fi ìyókù sílẹ̀ lórí ojú ohun tí a fi ìfọ́ náà gé. Ó tún jẹ́ ohun ìwẹ̀mọ́ tó dára gan-an, kò sì ní ìbàjẹ́ sí ojú ilẹ̀, èyí tí ó lè bá àìní ìlànà ìṣiṣẹ́ mu.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹsàn-14-2024
