Awọn gaasi itanna pataki ti fluorine ti o wọpọ pẹlusulfur hexafluoride (SF6)tungsten hexafluoride (WF6),erogba tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ati octafluoropropane (C3F8).
Pẹlu idagbasoke ti nanotechnology ati idagbasoke titobi nla ti ile-iṣẹ itanna, ibeere rẹ yoo pọ si lojoojumọ. Nitrogen trifluoride, gẹgẹbi ko ṣe pataki ati gaasi itanna pataki ti o tobi julọ lo ni iṣelọpọ ati sisẹ awọn panẹli ati awọn alamọdaju, ni aaye ọja gbooro.
Gẹgẹbi iru gaasi pataki ti o ni fluorine,nitrogen trifluoride (NF3)jẹ ọja gaasi pataki ti itanna pẹlu agbara ọja ti o tobi julọ. O jẹ inert kemikali ni iwọn otutu yara, ṣiṣẹ diẹ sii ju atẹgun ni iwọn otutu giga, iduroṣinṣin diẹ sii ju fluorine, ati rọrun lati mu. Nitrogen trifluoride ni a lo ni akọkọ bi gaasi etching pilasima ati oluranlowo ifasilẹ iyẹwu, ati pe o dara fun awọn aaye iṣelọpọ ti awọn eerun semikondokito, awọn ifihan nronu alapin, awọn okun opiti, awọn sẹẹli fọtovoltaic, ati bẹbẹ lọ.
Ni afiwe pẹlu awọn gaasi itanna ti o ni fluorine miiran,nitrogen trifluorideni o ni awọn anfani ti sare lenu ati ki o ga ṣiṣe. Paapa ni etching ti awọn ohun elo ti o ni awọn ohun elo ti o ni silikoni gẹgẹbi silikoni nitride, o ni oṣuwọn etching ti o ga julọ ati yiyan, ti ko fi iyokù silẹ lori aaye ti ohun elo etched. O tun jẹ aṣoju mimọ ti o dara pupọ ati pe ko ni idoti si dada, eyiti o le pade awọn iwulo ilana ilana.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹsan-14-2024
