Imi-oorun Hexafluide jẹ gaasi pẹlu awọn ohun-ini ti o dara julọ ti o dara julọ ti o dara julọ, ni afikun, awọn Ayirapada, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ Itanna InchFar Helfaf Hexafluide jẹ etcant itanna ti o dara julọ, eyiti a lo lilo pupọ ni aaye ti imọ-ẹrọ microelictronication. Loni, Ni jẹ ibajẹ gaasi pataki gaasi pataki yoo ṣafihan awọn ohun elo ti efin helfur Hexaflude etchine ati ipa ti awọn aye oriṣiriṣi.
A jiroro ti ilana SF6 PASTM Oṣuwọn, ati ṣawari ibasepọ laarin iyipada oṣuwọn iforilọsi ti passi ati awọn nọmba pilasima pilasima.
Awọn ijinlẹ ti rii pe nigbati agbara Pisma ti pọ si, oṣuwọn etchung pọ si; Ti oṣuwọn sisan ti SF6 ni pilasima ti pọ si, awọn afikun Fọkanmu pọ si ati pe o jẹ daadaa ṣe ibamu pẹlu oṣuwọn etching. Ni afikun, lẹhin ṣafikun gaasi Catic O2 labẹ iwọn oṣuwọn ṣiṣan lapapọ ti o wa titi, yoo ni ipa ti jijẹ iwọn, eyiti o le ṣe agbekalẹ oṣuwọn ti SFT6, eyiti o le ṣe iranlọwọ fun oṣuwọn ilosiwaju ti SF6, eyiti o le wa oṣuwọn e2 / SF6 oriṣiriṣi ni akoko yii ko fi kun. (2) Nigbati ipin O2 / SF6 / SF6 / SF6 ti o tobi ju 0.2 ti o tobi ju 0.2 ti o tobi julọ 1, ni akoko yii, nitori iye nla ti sf6 lati dagba awọn atomu, oṣuwọn etching jẹ ga julọ; Ṣugbọn ni akoko kanna, awọn ọta ti o wa ninu pasma tun npọpọ ati pe o rọrun lati dagba si oju fiimu SeltX, diẹ sii nira awọn ọta ti o ni entching. Nitorinaa, oṣuwọn etching naa bẹrẹ si fa fifalẹ nigbati ipin O2 / sf6 jẹ sunmọ 1. (3) Nigbati ipin O2 / SF6 tobi ju 1 lọ. Nitori alekun nla ni O2, tusciated F pẹlu O2 ati fọọmu ti o dinku fojusi ti awọn atomu kan. O le rii lati eyi pe nigbati o ti ṣafikun, ipin ṣiṣan ti O2 / SF6 wa laarin 0.2 ati oṣuwọn etcring ti o dara julọ le ṣee.
Akoko Akoko: Oṣuwọn-06-2021
