Sulfur hexafluoride jẹ́ gáàsì tí ó ní àwọn ohun ìní ìdábòbò tó dára, a sì sábà máa ń lò ó nínú pípa iná arc arc àti àwọn transformers, àwọn ìlà gbigbe voltage gíga, àwọn transformers, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Síbẹ̀síbẹ̀, ní àfikún sí àwọn iṣẹ́ wọ̀nyí, sulfur hexafluoride tún lè ṣeé lò gẹ́gẹ́ bí ẹ̀rọ itanna. Sulfur hexafluoride onípele gíga jẹ́ ẹ̀rọ itanna tó dára jùlọ, èyí tí a ń lò ní gbogbogbòò nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ microelectronics. Lónìí, olóòtú gaasi pàtàkì Niu Ruide Yueyue yóò ṣe àgbékalẹ̀ lílo sulfur hexafluoride nínú ẹ̀rọ silicon nitride àti ipa àwọn paramita tó yàtọ̀ síra.
A jíròrò ìlànà SiNx ìfọ́ plasma SF6, títí kan yíyípadà agbára plasma, ìpíndọ́gba gaasi ti SF6/He àti fífi gaasi cationic O2 kún un, jíjíròrò ipa rẹ̀ lórí ìwọ̀n ìfọ́ ti ipele ààbò element SiNx ti TFT, àti lílo ìtànṣán plasma. Spectrometer náà ṣàyẹ̀wò àwọn ìyípadà ìfọ́ ti ẹ̀yà kọ̀ọ̀kan nínú plasma SF6/He, SF6/He/O2 àti ìwọ̀n ìpínyà SF6, ó sì ṣe àwárí ìbáṣepọ̀ láàárín ìyípadà oṣuwọn ìfọ́ SiNx àti ìfọ́ ti ẹ̀yà plasma.
Àwọn ìwádìí ti rí i pé nígbà tí agbára plasma bá pọ̀ sí i, ìwọ̀n ìfọ́ náà yóò pọ̀ sí i; tí ìwọ̀n ìfọ́ SF6 nínú plasma bá pọ̀ sí i, ìfọ́ náà yóò pọ̀ sí i, yóò sì ní ìbáṣepọ̀ rere pẹ̀lú ìwọ̀n ìfọ́ náà. Ní àfikún, lẹ́yìn fífi gaasi cationic O2 kún lábẹ́ ìwọ̀n ìfọ́ gbogbo tí a ti pinnu, yóò ní ipa ti mímú ìwọ̀n ìfọ́ náà pọ̀ sí i, ṣùgbọ́n lábẹ́ àwọn ìpíndọ́gba ìfọ́ O2/SF6 tí ó yàtọ̀ síra, àwọn ọ̀nà ìṣesí tí ó yàtọ̀ yóò wà, èyí tí a lè pín sí àwọn apá mẹ́ta: (1) Ìpíndọ́gba ìfọ́ O2/SF6 kéré gan-an, O2 lè ran ìpíndọ́gba SF6 lọ́wọ́, ìwọ̀n ìfọ́ náà yóò sì pọ̀ sí i nígbà tí a kò bá fi O2 kún un. (2) Nígbà tí ìpíndọ́gba ìfọ́ O2/SF6 bá pọ̀ ju 0.2 lọ sí àárín tí ó ń sún mọ́ 1, ní àkókò yìí, nítorí iye pípa SF6 pọ̀ láti ṣẹ̀dá àwọn átọ̀mù F, ìwọ̀n ìfọ́ náà yóò ga jùlọ; ṣùgbọ́n ní àkókò kan náà, àwọn átọ̀mù O nínú plasma náà ń pọ̀ sí i, ó sì rọrùn láti ṣẹ̀dá SiOx tàbí SiNxO(yx) pẹ̀lú ojú fíìmù SiNx, àti bí àwọn átọ̀mù O ṣe ń pọ̀ sí i, bẹ́ẹ̀ náà ni àwọn átọ̀mù F yóò ṣe nira tó fún ìṣesí ìfọ́. Nítorí náà, ìwọ̀n ìfọ́ bẹ̀rẹ̀ sí í dínkù nígbà tí ìpíndọ́gba O2/SF6 bá sún mọ́ 1. (3) Nígbà tí ìpíndọ́gba O2/SF6 bá pọ̀ ju 1 lọ, ìwọ̀n ìfọ́ kù ń dínkù. Nítorí ìbísí ńlá nínú O2, àwọn átọ̀mù F tí ó yapa máa ń dojúkọ O2 àti ìrísí OF, èyí tí ó ń dín ìfọ́pọ̀ àwọn átọ̀mù F kù, èyí tí ó ń yọrí sí ìdínkù nínú ìwọ̀n ìfọ́ kù. A lè rí i láti inú èyí pé nígbà tí a bá fi O2 kún un, ìpíndọ́gba ìṣàn ti O2/SF6 wà láàrín 0.2 àti 0.8, a sì lè rí ìwọ̀n ìfọ́ tó dára jùlọ.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-06-2021
