Awọn lilo ti tungsten hexafluoride (WF6)

Tungsten hexafluoride (WF6) ti wa ni ipamọ lori dada ti wafer nipasẹ ilana CVD kan, ti o kun awọn yàrà isọpọ irin, ati ṣiṣe asopọ irin laarin awọn fẹlẹfẹlẹ.

Jẹ ki a sọrọ nipa pilasima akọkọ. Plasma jẹ fọọmu ọrọ kan ni akọkọ ti o ni awọn elekitironi ọfẹ ati awọn ions ti o gba agbara. O wa ni ibigbogbo ni agbaye ati pe a maa n gba bi ipo kẹrin ti ọrọ. O ti wa ni a npe ni pilasima ipinle, tun npe ni "Plasma". Plasma ni ina eletiriki giga ati pe o ni ipa isọpọ to lagbara pẹlu aaye itanna. O jẹ gaasi ionized kan, ti o ni awọn elekitironi, awọn ions, awọn ipilẹṣẹ ọfẹ, awọn patikulu didoju, ati awọn photons. Pilasima funrararẹ jẹ adalu didoju eletiriki ti o ni awọn patikulu ti ara ati kemikali lọwọ.

Alaye ti o taara ni pe labẹ iṣẹ ti agbara giga, moleku yoo bori agbara van der Waals, agbara asopọ kemikali ati agbara Coulomb, ati ṣafihan fọọmu ti ina didoju lapapọ lapapọ. Ni akoko kanna, agbara giga ti o funni nipasẹ ita bori awọn agbara mẹta ti o wa loke. Iṣẹ, awọn elekitironi ati awọn ions ṣe afihan ipo ọfẹ, eyiti o le ṣee lo ni atọwọdọwọ labẹ awose ti aaye oofa, gẹgẹbi ilana etching semiconductor, ilana CVD, PVD ati ilana IMP.

Kini agbara giga? Ni imọran, mejeeji iwọn otutu giga ati igbohunsafẹfẹ giga RF le ṣee lo. Ni gbogbogbo, iwọn otutu giga jẹ eyiti ko ṣee ṣe lati ṣaṣeyọri. Ibeere iwọn otutu yii ga ju ati pe o le sunmọ iwọn otutu oorun. O ti wa ni besikale soro lati se aseyori ninu awọn ilana. Nitorinaa, ile-iṣẹ nigbagbogbo nlo RF-igbohunsafẹfẹ lati ṣaṣeyọri rẹ. Plasma RF le de giga bi 13MHz+.

Tungsten hexafluoride ti wa ni pilasima labẹ iṣe ti aaye ina, lẹhinna oru-ipamọ nipasẹ aaye oofa kan. Awọn ọta W jẹ iru si awọn iyẹ ẹyẹ gussi igba otutu ati ṣubu si ilẹ labẹ iṣe ti walẹ. Laiyara, W awọn ọta ti wa ni ifipamo sinu nipasẹ awọn ihò, ati nipari kun Full nipasẹ ihò lati dagba irin interconnections. Ni afikun si ifipamọ awọn ọta W ni awọn iho nipasẹ awọn iho, wọn yoo tun wa ni idogo lori oju ti Wafer? Bẹẹni, dajudaju. Ni gbogbogbo, o le lo ilana W-CMP, eyiti a pe ni ilana lilọ ẹrọ lati yọkuro. Ó dà bíi lílo ìgbálẹ̀ láti gbá ilẹ̀ lẹ́yìn yìnyín tó wúwo. Awọn egbon lori ilẹ ti wa ni gbá kuro, ṣugbọn awọn egbon ti o wa ninu iho lori ilẹ yoo wa nibe. Ni isalẹ, ni aijọju kanna.