Lilo ti Tugsten Hexafluor (WF6)

Tungsten Hexafluor (WF6) ti wa ni ifipamọ sori ipilẹ Wafer nipasẹ ilana CVD kan, kikun awọn egungun irin-irin, ati lara ẹrọ inu-irin laarin awọn fẹlẹfẹlẹ.

Jẹ ki a sọrọ nipa pilasima akọkọ. Pilasima jẹ fọọmu ti ọrọ ti o kun fun awọn itanna ọfẹ ati awọn ions ti o gbagede. O wa ni jakejado jakejado ni Agbaye ati pe a fiyesi nigbagbogbo bi ipo kẹrin ti ọrọ. O ti wa ni pe ni ipinlẹ pilasima, tun npe ni "pilasima". Pilasima ni adaṣe eleyi ti o ni agbara ati pe o ni ipa ikojọpọ ti o lagbara pẹlu aaye itanna. O jẹ gaasi iontish kan, ti o jẹ awọn itanna, awọn ions, awọn ipilẹ awọn ọfẹ, awọn patikulu didoju. Pilasima funrararẹ jẹ diol ina mọnamọna ti ara ẹni ti ara ati awọn patikulu ti chemically.

Alaye taara ni pe labẹ iṣẹ ti agbara giga, muleclele yoo bori ipa Vec Deer, iwe kemikali kemikali ati ṣafihan fọọmu ti ina mọnamọna bi odidi. Ni akoko kanna, agbara giga ti o lagbara nipasẹ awọn ti ita bori awọn ipa mẹta loke. Iṣẹ, awọn elem ṣafihan ipinle ọfẹ kan, eyiti o le ṣee lo labẹ ilana oofa, gẹgẹbi ilana iṣemi oyun, ilana CVD, PVD ati Iṣoro Iṣuku.

Kini agbara giga? Ni yii, iwọn otutu ti o ga julọ ati ipo igbohunsafẹfẹ giga ti o ga le ṣee lo. Ni gbogbogbo, iwọn otutu ti o ga jẹ o fẹrẹ ṣe lati ṣaṣeyọri. Iṣiro otutu yii jẹ giga pupọ ati pe o le sunmọ si iwọn otutu oorun. O ti wa ni besikako soro lati ṣaṣeyọri ninu ilana naa. Nitorinaa, ile-iṣẹ nigbagbogbo nlo ga-igbohunsafẹfẹ gaju lati ṣaṣeyọri rẹ. Pilasima Rf le de ọdọ bi 13mHz +.

Tungsten Hexafluide wa ni idoriko labẹ iṣẹ labẹ iṣẹ ti aaye ina, ati lẹhinna fi agbara ṣan-idogo nipasẹ aaye oofa. W awọn ọta jẹ iru si awọn iyẹ ẹyẹ gussi igba otutu ati ṣubu si ilẹ labẹ iṣẹ ti walẹ. Laiyara, W awọn atemo ti wa ni fipamọ sinu awọn iho, ati nikẹhin kun ni kikun nipasẹ awọn iho lati dagba awọn irin-ajo irin. Ni afikun si gbigbe awọn atomu wa ninu awọn iho, iwọ yoo tun wa ni ifipamọ lori dada ti wafer? Bẹẹni, dajudaju. Ni gbogbogbo, o le lo ilana Wi-CMP, eyiti o jẹ ohun ti a pe ilana ilana lilọ kiri dada lati yọ kuro. O jẹ iru si nipa lilo broom kan lati gba pakà lẹhin egbon nla. Yinyin lori ilẹ ti parẹ, ṣugbọn egbon ninu iho ti ilẹ yoo wa. Silẹ, aijọju kanna.