Àwọn lílo tungsten hexafluoride (WF6)

A máa ń gbé Tungsten hexafluoride (WF6) sí orí ìbòrí wafer náà nípasẹ̀ ìlànà CVD, ó ń kún àwọn ihò ìsopọ̀ irin náà, ó sì ń ṣe ìsopọ̀ irin náà láàrín àwọn ìpele náà.

Ẹ jẹ́ ká kọ́kọ́ sọ̀rọ̀ nípa plasma. Plasma jẹ́ irú ohun èlò tí ó ní àwọn elekitironi ọfẹ àti àwọn ion tí a fi agbára mú. Ó wà káàkiri àgbáyé, a sì sábà máa ń kà á sí ipò kẹrin ti ohun èlò. A ń pè é ní ipò plasma, tí a tún ń pè ní “Plasma”. Plasma ní agbára ìdarí mànàmáná gíga, ó sì ní ipa ìsopọ̀ pẹ̀lú pápá electromagnetic. Ó jẹ́ gaasi tí a ti ionized díẹ̀, tí ó ní àwọn elekitironi, àwọn ions, àwọn free radicals, àwọn particles neutral, àti àwọn photons. Plasma fúnra rẹ̀ jẹ́ àdàpọ̀ tí kò ní agbára mànàmáná tí ó ní àwọn particles tí ń ṣiṣẹ́ ní ti ara àti ti kemikali.

Àlàyé tó rọrùn ni pé lábẹ́ agbára gíga, molecule náà yóò borí agbára van der Waals, agbára ìsopọ̀ kẹ́míkà àti agbára Coulomb, yóò sì gbé irú iná mànàmáná tí kò ní ìyípadà jáde lápapọ̀. Ní àkókò kan náà, agbára gíga tí òde ń fúnni borí agbára mẹ́ta tí a mẹ́nu kàn lókè yìí. Iṣẹ́, elekitironi àti ion ń gbé ipò òmìnira kalẹ̀, èyí tí a lè lò nípasẹ̀ àtọwọ́dá lábẹ́ ìyípadà pápá oofa, bíi ìlànà ìfọ́ semiconductor, ìlànà CVD, ìlànà PVD àti ìlànà IMP.

Kí ni agbára gíga? Ní ti èrò, a lè lo RF ìgbóná gíga àti RF ìgbóná gíga. Ní gbogbogbòò, ooru gíga fẹ́rẹ̀ẹ́ má ṣeé ṣe láti dé. Ohun tí a nílò fún iwọn otutu yìí ga jù, ó sì lè sún mọ́ iwọn otutu oòrùn. Kò ṣeé ṣe láti dé nínú ìlànà náà. Nítorí náà, ilé iṣẹ́ sábà máa ń lo RF ìgbóná gíga láti dé. Plasma RF lè dé 13MHz+.

A máa ń yí Tungsten hexafluoride padà lábẹ́ agbára iná mànàmáná, lẹ́yìn náà a máa ń fi èéfín pamọ́ sínú èéfín. Àwọn átọ̀mù W jọ ìyẹ́ ẹyẹ gọ́ọ̀sì ìgbà òtútù, wọ́n sì máa ń jábọ́ sí ilẹ̀ lábẹ́ agbára òòfà. Díẹ̀díẹ̀, a máa ń fi àwọn átọ̀mù W sínú àwọn ihò tí ó wà nínú ihò náà, a sì máa ń kún àwọn ihò tí ó kún láti ṣe ìsopọ̀ irin. Yàtọ̀ sí fífi àwọn átọ̀mù W sínú àwọn ihò tí ó wà nínú ihò náà, ṣé a ó tún fi wọ́n sí orí ojú Wafer náà? Bẹ́ẹ̀ni, dájúdájú. Ní gbogbogbòò, o lè lo ìlànà W-CMP, èyí tí a ń pè ní ìlànà ìlọ ẹ̀rọ láti yọ kúrò. Ó jọ lílo ìgbálẹ̀ láti gbá ilẹ̀ lẹ́yìn yìnyín líle. A máa ń gbá yìnyín náà kúrò lórí ilẹ̀, ṣùgbọ́n yìnyín tí ó wà nínú ihò náà yóò wà níbẹ̀. Ní ìsàlẹ̀, ó fẹ́rẹ̀ẹ́ jọra.