Ẹ̀rọ itannaàwọn gáàsì pàtàkìjẹ́ ẹ̀ka pàtàkì ti àwọn gáàsì pàtàkì. Wọ́n ń wọ inú gbogbo ìsopọ̀mọ́ra ìṣẹ̀dá semiconductor wọ́n sì jẹ́ àwọn ohun èlò aise pàtàkì fún ìṣẹ̀dá àwọn ilé iṣẹ́ ẹ̀rọ itanna bíi àwọn iyika alágbà-ńlá, àwọn ẹ̀rọ ìfihàn pánẹ́lì aláfẹ́fẹ́, àti àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn.

Nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ semiconductor, àwọn gáàsì tí ó ní fluorine ni a ń lò dáadáa. Lọ́wọ́lọ́wọ́, ní ọjà gáàsì elekitiriki kárí ayé, àwọn gáàsì elekitiriki tí ó ní fluorine jẹ́ nǹkan bí 30% gbogbo rẹ̀. Àwọn gáàsì elekitiriki tí ó ní fluorine jẹ́ apá pàtàkì nínú àwọn gáàsì elekitiriki pàtàkì nínú iṣẹ́ àwọn ohun èlò ìwífún elekitiriki. Wọ́n sábà máa ń lò wọ́n gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ àti ohun èlò ìfọṣọ, a sì tún lè lò wọ́n gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò ìfọṣọ, àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá fíìmù, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Nínú àpilẹ̀kọ yìí, òǹkọ̀wé náà yóò mú ọ lóye àwọn gáàsì tí ó ní fluorine.

Àwọn wọ̀nyí ni àwọn gáàsì tí ó ní fluorine tí a sábà máa ń lò

Nitrogen trifluoride (NF3): Gáàsì kan tí a lò fún fífọ àti yíyọ àwọn ohun tí a kó pamọ́ kúrò, tí a sábà máa ń lò fún fífọ àwọn yàrá ìṣiṣẹ́ àti àwọn ohun èlò mọ́.

Héksáfọ́rọ́dì Sọ́fúrù (SF6): Ohun èlò fluorina tí a lò nínú àwọn ìlànà ìtújáde oxide àti gẹ́gẹ́ bí gáàsì ìdènà fún kíkún àwọn ohun èlò ìdènà.

Fluoride hydrogen (HF): A lo lati yọ awọn oxides kuro lori oju silikoni ati bi ohun elo fifọ fun fifọ silikoni ati awọn ohun elo miiran.

Nitrogen fluoride (NF): A lo lati fi gé awọn ohun elo bi silicon nitride (SiN) ati aluminiomu nitride (AlN).

Trifluoromethani (CHF3) àtitetrafluoromethani (CF4): A lo lati yọ awọn ohun elo fluoride bi silikoni fluoride ati aluminiomu fluoride kuro ninu wọn.

Sibẹsibẹ, awọn gaasi ti o ni fluorine ni awọn ewu kan, pẹlu majele, ibajẹ, ati agbara ina.

Àìlera

Àwọn gáàsì kan tí ó ní fluorine jẹ́ olóró, bíi hydrogen fluoride (HF), èyí tí èéfín rẹ̀ máa ń bí awọ ara àti ọ̀nà atẹ́gùn nínú, ó sì máa ń léwu fún ìlera ènìyàn.

Ìbàjẹ́

Fluoride hydrogen ati diẹ ninu awọn fluoride jẹ ibajẹ pupọ ati pe o le fa ibajẹ nla si awọ ara, oju ati ọna atẹgun.

Ìgbóná-ìná

Àwọn fluoride kan lè jóná, wọ́n sì máa ń ṣe pẹ̀lú atẹ́gùn tàbí omi nínú afẹ́fẹ́ láti tú ooru gbígbóná àti àwọn gáàsì olóró jáde, èyí tí ó lè fa iná tàbí ìbúgbàù.

Ewu titẹ giga

Àwọn gáàsì fluorin kan máa ń bú gbàù lábẹ́ ìfúnpá gíga, wọ́n sì nílò ìtọ́jú pàtàkì nígbà tí a bá lò wọ́n àti nígbà tí a bá tọ́jú wọn.

Ipa lori ayika

Àwọn gáàsì tí ó ní fluorine ní ìgbésí ayé afẹ́fẹ́ gíga àti àwọn ìwọ̀n GWP, èyí tí ó ní ipa ìparun lórí ìpele ozone afẹ́fẹ́, ó sì lè fa ìgbóná ayé àti ìbàjẹ́ àyíká.

Lílo àwọn gáàsì ní àwọn agbègbè tó ń yọjú bíi ẹ̀rọ itanna ń tẹ̀síwájú láti gbilẹ̀ sí i, èyí sì ń mú kí ọ̀pọ̀ ènìyàn nílò àwọn gáàsì ilé iṣẹ́ pọ̀ sí i. Nítorí iye agbára ìṣelọ́pọ́ tuntun ti àwọn ẹ̀rọ itanna pàtàkì bíi semiconductor àti àwọn pánẹ́lì ìfihàn ní orílẹ̀-èdè China ní ọdún díẹ̀ tó ń bọ̀, àti bí ìbéèrè tó lágbára fún lílo àwọn ohun èlò kẹ́míkà oníná láti wọlé, ilé iṣẹ́ gáàsì oníná yóò mú kí ìwọ̀n ìdàgbàsókè tó ga dé.