Ẹrọ itannaAwọn ategun patakijẹ ẹka pataki ti awọn ategun pataki. Wọn wọ inu gbogbo ọna asopọ ti iṣelọpọ iṣelọpọ semiconctor fun iṣelọpọ ti awọn ile-iṣẹ itanna bii awọn iyika ti o ni inira, awọn ẹrọ alapin alapin awọn ẹrọ alapin, ati awọn sẹẹli oorun.

Ni imọ-ẹrọ semicoctuctoctor, awọn ategun inu flutirorine ni a lo ni lilo pupọ. Lọwọlọwọ, ninu ọja gaasi itanna ti agbaye, ti o ni iwe akọọlẹ itanna eleta fun nipa 30% ti lapapọ. Flurine-ti o ni awọn eefin itanna jẹ pataki ti awọn epo eefin itanna pataki ni aaye ti awọn ohun elo alaye itanna pataki. Wọn ti lo pato bi awọn aṣoju mimọ ati etchings enching, ati pe wọn tun le ṣee lo awọn ohun elo, awọn ohun elo ti fiimu, onkọwe yoo mu ọ laaye lati ni oye awọn gaasi ti o wọpọ.

Awọn atẹle ni a lo flutine

Nitrogen Trifluoride (NF3): gaasi ti a lo fun ati yọkuro awọn idogo ti a lo, nigbagbogbo lo fun awọn ile-iṣẹ ọrọ mimọ ati awọn ohun elo ẹrọ.

Sulfur Hexafluor (sf6): Aṣoju fifẹ ti a lo ninu awọn ilana iwuri ohun elo afẹfẹ ati bi gaasi insulating fun kikun awọn media insulating.

Hydrogen fluoride (HF): Ti a lo lati yọ awọn ohun elo atẹgun kuro ni ilẹ siliki ati bi etchant fun ettran fun ettrant siconn ati awọn ohun elo miiran.

Nitrogen fluoride (NF): Ti a lo lati etch awọn ohun elo bii Silicon nitrade (ẹṣẹ) ati aluminium nitride (ANN).

Trifluomethane (CHF3) atiTetrafluorne (cf4)Pipa

Bibẹẹkọ, awọn ategun ti o ni fifẹ ni awọn ewu kan, pẹlu majele, ibawi, ati ikolu.

Ipa

Diẹ ninu awọn asuga-inu fifẹ jẹ majele, gẹgẹbi hydrogen fluoride (HF), ẹniti o jẹ itanjẹ jẹ ibinu pupọ si awọ ara ati ipalara si ilera eniyan.

Ipa ipa

Hydrogen froriorade ati diẹ ninu awọn frorides jẹ afarafẹ pupọ ati pe o le fa ibaje nla si awọ ara, oju ati atẹgun atẹgun.

Ina

Diẹ ninu awọn flarades jẹ ina ati fesi pẹlu atẹgun tabi omi ni afẹfẹ lati tu awọn epo ooru ati majele, eyiti o le fa ina tabi bugbamu.

Eewu-lile

Diẹ ninu awọn ategun fifọ jẹ awọn bugbafunni labẹ titẹ to gaju ati nilo itọju pataki nigba lilo ati fipamọ.

Ikolu lori ayika

Awọn ategun ti o ni fifẹ ni igbesi aye oju aye giga ati awọn iye GWP giga, eyiti o ni ipa iparun lori Layer Osonu Agbaye ati pe o le fa igbomikana ti o le fa agbegbe ati idoti ayika.

Ohun elo ti awọn ategun ninu awọn aaye ti n yọ ninu awọn itanna n tẹsiwaju lati jinle, mu iye nla ti ibeere tuntun wa fun awọn gaasi ile-iṣẹ. Da lori iye nla ti agbara iṣelọpọ tuntun ti awọn ẹya ẹrọ itanna pataki bii awọn panti ti n bọ ni awọn ohun elo kemikali ti o tẹle, ile-iṣẹ epo kemikali yoo gba ni oṣuwọn idagbasoke idagbasoke giga.