Itannapataki gaasijẹ ẹka pataki ti awọn gaasi pataki. Wọn wọ fere gbogbo ọna asopọ ti iṣelọpọ semikondokito ati pe awọn ohun elo aise ko ṣe pataki fun iṣelọpọ ti awọn ile-iṣẹ itanna gẹgẹbi awọn iyika iṣọpọ iwọn-nla, awọn ẹrọ ifihan nronu alapin, ati awọn sẹẹli oorun.

Ni imọ-ẹrọ semikondokito, awọn gaasi ti o ni fluorine jẹ lilo pupọ. Lọwọlọwọ, ni ọja gaasi itanna agbaye, awọn gaasi itanna ti o ni fluorine ṣe iroyin fun nipa 30% ti lapapọ. Awọn gaasi itanna ti o ni fluorine jẹ ẹya pataki ti awọn gaasi itanna pataki ni aaye awọn ohun elo alaye itanna. A lo wọn ni pataki bi awọn aṣoju mimọ ati awọn aṣoju etching, ati pe o tun le ṣee lo bi awọn dopants, awọn ohun elo ti n ṣe fiimu, bbl Ninu nkan yii, onkọwe yoo mu ọ lati loye awọn gaasi ti o ni fluorine ti o wọpọ.

Awọn atẹle wọnyi jẹ awọn gaasi ti o ni fluorine nigbagbogbo

Nitrogen trifluoride (NF3): Gaasi ti a lo fun mimọ ati yiyọ awọn ohun idogo kuro, ti a lo nigbagbogbo fun mimọ awọn iyẹwu ifaseyin ati awọn aaye ohun elo.

Sulfur hexafluoride (SF6): Aṣoju fluorinating ti a lo ninu awọn ilana fifisilẹ ohun elo afẹfẹ ati bi gaasi idabobo fun kikun media insulating.

Hydrogen fluoride (HF): Ti a lo lati yọ awọn oxides kuro ni oju silikoni ati bi ohun elo fun etching silikoni ati awọn ohun elo miiran.

Nitrogen fluoride (NF): Lo lati etch awọn ohun elo bi silikoni nitride (SiN) ati aluminiomu nitride (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) atitetrafluoromethane (CF4): Lo lati etch fluoride ohun elo bi silikoni fluoride ati aluminiomu fluoride.

Sibẹsibẹ, awọn gaasi ti o ni fluorine ni awọn ewu kan, pẹlu majele, ibajẹ, ati ina.

Oloro

Diẹ ninu awọn gaasi ti o ni fluorine jẹ majele, gẹgẹbi hydrogen fluoride (HF), ti oru rẹ jẹ ibinu pupọ si awọ ara ati atẹgun atẹgun ati ipalara si ilera eniyan.

Ibajẹ

Fluoride hydrogen ati diẹ ninu awọn fluorides jẹ ibajẹ pupọ ati pe o le fa ibajẹ nla si awọ ara, oju ati atẹgun atẹgun.

Flammability

Diẹ ninu awọn fluorides jẹ flammable ati fesi pẹlu atẹgun tabi omi ninu afẹfẹ lati tujade ooru gbigbona ati awọn gaasi majele, eyiti o le fa ina tabi bugbamu.

Ewu ti o ga

Diẹ ninu awọn gaasi fluorinated jẹ ibẹjadi labẹ titẹ giga ati nilo itọju pataki nigba lilo ati fipamọ.

Ipa lori ayika

Awọn gaasi ti o ni fluorine ni awọn igbesi aye afẹfẹ giga ati awọn iye GWP, eyiti o ni ipa iparun lori Layer ozone ti afẹfẹ ati pe o le fa imorusi agbaye ati idoti ayika.

Awọn ohun elo ti awọn gaasi ni awọn aaye ti o dide gẹgẹbi awọn ẹrọ itanna tẹsiwaju lati jinle, n mu iye nla ti ibeere tuntun fun awọn gaasi ile-iṣẹ. Da lori iye nla ti agbara iṣelọpọ tuntun ti awọn paati itanna pataki gẹgẹbi awọn semikondokito ati awọn panẹli ifihan ni oluile China ni awọn ọdun diẹ ti n bọ, ati ibeere ti o lagbara fun aropo agbewọle ti awọn ohun elo kemikali eletiriki, ile-iṣẹ gaasi eletiriki ile yoo mu wọle. a ga idagba oṣuwọn.