Àwọn gáàsì ìfọ́ tí a sábà máa ń lò nínú ìfọ́ tí a fi ń gbẹ?

Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọṣọ gbígbẹ jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn ìlànà pàtàkì. Gáàsì ìfọṣọ gbígbẹ jẹ́ ohun èlò pàtàkì nínú iṣẹ́ ṣíṣe semikondokito àti orísun gáàsì pàtàkì fún ìfọṣọ plasma. Iṣẹ́ rẹ̀ ní ipa tààrà lórí dídára àti iṣẹ́ ọjà ìkẹyìn. Àpilẹ̀kọ yìí ní pàtàkì pín àwọn gáàsì ìfọṣọ tí a sábà máa ń lò nínú iṣẹ́ ìfọṣọ gbígbẹ.

Àwọn gáàsì tí ó dá lórí fluorine: irú bíierogba tetrafluoride (CF4), hexafluoroethane (C2F6), trifluoromethane (CHF3) àti perfluoropropane (C3F8). Àwọn gáàsì wọ̀nyí lè mú fluoride tí ó lè yípadà jáde dáadáa nígbà tí wọ́n bá ń gé àwọn àdàpọ̀ silicon àti silicon, èyí sì lè mú kí a yọ àwọn ohun èlò kúrò.

Àwọn gáàsì tí ó dá lórí klóríìnì: bíi klóríìnì (Cl2),boron trichloride (BCl3)àti silicon tetrachloride (SiCl4). Àwọn gáàsì tí a fi chlorine ṣe lè pèsè àwọn ion chloride nígbà tí a bá ń gé e, èyí tí ó ń ran lọ́wọ́ láti mú kí ìwọ̀n ìgé e àti yíyàn sunwọ̀n sí i.

Àwọn gáàsì tí ó dá lórí bromine: bíi bromine (Br2) àti bromine iodide (IBr). Àwọn gáàsì tí ó dá lórí bromine lè mú kí iṣẹ́ ìfọ́ tó dára jù lọ wáyé nínú àwọn ìlànà ìfọ́ kan, pàápàá jùlọ nígbà tí a bá ń fi àwọn ohun èlò líle bíi silicon carbide gé e.

Àwọn gáàsì tí ó ní oríṣiríṣi nitrogen àti oxygen: bíi nitrogen trifluoride (NF3) àti oxygen (O2). A sábà máa ń lo àwọn gáàsì wọ̀nyí láti ṣàtúnṣe àwọn ipò ìṣesí nínú ìlànà ìkọ́ láti mú kí yíyàn àti ìtọ́sọ́nà ìkọ́sí sunwọ̀n síi.

Àwọn gáàsì wọ̀nyí ń ṣe àgbékalẹ̀ ìfọ́ ojú ohun èlò náà nípasẹ̀ àpapọ̀ ìfọ́ ara àti àwọn ìṣe kẹ́míkà nígbà ìfọ́ plasma. Yíyàn gáàsì ìfọ́ da lórí irú ohun èlò tí a fẹ́ gé, àwọn ohun tí a nílò láti gé, àti ìwọ̀n ìfọ́ tí a fẹ́.