Kini awọn ategun etching ti a lo nigbagbogbo ni etching gbẹ?

Imọ-ẹrọ ti o gbẹ Etcring jẹ ọkan ninu awọn ilana bọtini. Agbẹ gaasi etching jẹ ohun elo pataki ni iṣelọpọ semitoctionctor ati orisun gaasi pataki fun pilasima etching. Iṣe rẹ taara ni ipa lori didara ati iṣẹ ti ọja ikẹhin. Nkan yii ni o kun ipin kini awọn ohun ategun etcing ti lilo wọpọ ni ilana ilana etching ti o gbẹ.

Awọn ategun ti o da lori ti iṣan: biierogba Tortafluide (CF4), Hexafluorane Youranhaneuranane (C2F6), Tffuluomehane (CHF3) ati Instreroproropropopoopane (C3F8). Awọn ategun wọnyi le ṣe imura awọn iyọ fíbò-ọrọ ti o ni agbara nigbati etching silicon ati awọn iṣiro siliki ati ṣiṣe imukuro ohun elo ohun elo.

Awọn ategun ti o da lori awọn ọpa: gẹgẹ bi chloraine (CL2),Bron Trichlorade (BCL3)ati silicon tetrachloride (Sicl4). Awọn ategun ti o da lori awọn ategun chlorie le pese awọn iṣọn kiloridi lakoko ilana etching, eyiti o ṣe iranlọwọ lati mu ilọsiwaju oṣuwọn ati yiyan.

Awọn ategun ti o da lori-orisun: gẹgẹ bi bromine (br2) ati bromine iodider (ibr). Awọn ategun ipilẹ-orisun ti awọn ohun elo ti o dara julọ le pese iṣẹ ṣiṣe to dara julọ ninu awọn ilana etching kan, paapaa nigbati etchin awọn ohun elo lile bii Silicon Carbide.

Nitrogen-orisun ati awọn ategun ipilẹ-orisun atẹgun: bii nitrogen Trifluor (NF3) ati Oxygen (O2). Awọn ategun wọnyi ni a lo nigbagbogbo lati ṣatunṣe awọn ipo ti o wa ninu ilana etching lati mu iyipada ati itọsọna ti etching naa ṣiṣẹ.

Awọn ategun wọnyi ṣaṣeyọri etching ti ohun elo ohun elo nipasẹ apapo ti ikogun ti ara ati awọn ifaro kemikali lakoko pilasima etching. Yiyan gaasi etching da lori iru ohun elo lati jẹ etched, awọn ibeere yiyan ti etching, ati oṣuwọn etching etching.